电子气体系统技术应用现状和发展趋势

论述了电子气体输送系统的各种技术现状和特点,并就高纯度、大流量、严格的安全措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。

特种气体在电子行业中的应用

论述了特种气体在集成电路、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器和光纤预制棒等电子行业中的应用,并就其使用安全提出了建议。

电子级特种气体输送系统质量控制

主要介绍应用在半导体行业电子级特种气体输送系统质量控制的要点及其涉及到的检测仪器的工作原理,结合目前行业内气体输送系统质量控制的方法做概括性介绍。

电子级高纯气体输送系统

从系统设计角度,论述了电子级高纯气体输送系统的主要设备,气体纯化器选型,输送管道、管件和阀门的材料和型式,安装施工验收的技术指标,以及微量污染的来源及控制措施等。

新型三氯氧磷集中安全供应系统

介绍了一种新型的三氯氧磷集中供应装置。该装置通过对不锈钢表面化学气相沉积处理,实现了防腐功能。同时采用全自动集中供应方式,确保了硅太阳电池扩散炉生产中的安全和纯度控制。

薄膜硅太阳能电池DEZn输送系统

目前商业化生产的薄膜硅太阳能电池主要分为非晶硅(a-Si)薄膜和非晶/微晶硅(a-Si/μc-Si)叠层薄膜。其生产工艺首先是在玻璃基板上制造透明导电氧化物(TCO),然后再通过PECVD方法沉积p型、i型和n型薄膜,最后用溅射做背电极。

新型蒸发器在光纤预制棒生产中的应用

介绍了光纤预制棒的生产工艺以及国内SiCl4蒸发输送系统的技术现状。描述了新型SMR蒸发器的结构特点、技术规格和在SiCl4流量控制方面的优良性能。

光纤预制棒制造用精密流体输送系统的设计

光纤预制棒产品的稳定性一直是预制棒生产商关注的焦点。将SiCl4和GeCl4这两种在整个预制棒制造过程中十分关键的原料精确、稳定地输送到沉积炉内参与反应是确保光纤预制棒质量优良的关键。从流体输送的基本概念及控制点详细阐述了用于光纤预制棒生产的精密流体输送系统的设计。