基于压电陶瓷管扫描器的大范围纳米定位系统

提出一种基于压电陶瓷管扫描器的X-Y二维大范围纳米级定位系统,该系统利用摩擦力和惯性使样品产生步进式的微位移。阐述了该系统的设计和工作原理,并给出了它在原子力显微镜中用于探针-样品间的定位控制的应用实例,取得了理想效果。