面向集成电路行业的特种气体纯化再生系统的开发与应用

如何将集成电路运行过程所需的特种气体纯化、再生,成为了时下阻碍我国集成电路行业发展的难题,基于此,为解决集成电路行业中特种气体纯化、再生问题,设计开发出了 9N 系列气体纯化装置,对其基本构造、工作原理和技术创新进行了分析,并总结了优势和具体应用效果。