PIN结光电二极管的工艺原理和制造

PIN结构的二极管是一种特殊的电荷存储二极管,由于功耗小速度快等优点而被广泛应用。PIN结构的光电二极管是一种常用的光电探测器。本文阐述了PIN结构的光电二极管的器件特性和工艺制程,指出工艺过程中存在的问题。