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中间层类型对类金刚石涂层界面结合性能和抗磨损能力的影响
被引量:
7
1
作者
纪锡旺
许振华
+3 位作者
何利民
甄洪滨
李迪敏
郝俊文
《真空》
CAS
2013年第6期1-6,共6页
采用等离子体增强化学气相沉积(既CVD)、磁控溅射和阴极电弧离子镀技术相结合的方法,合理利用金属Cr靶和TiAl靶,选择性地在硬质合金基体上沉积了具有不同中间层(Cr、TiAI、TiAlN、Cr/TiAI/TiAlN)的复合结构体系类金刚石(DLC)...
采用等离子体增强化学气相沉积(既CVD)、磁控溅射和阴极电弧离子镀技术相结合的方法,合理利用金属Cr靶和TiAl靶,选择性地在硬质合金基体上沉积了具有不同中间层(Cr、TiAI、TiAlN、Cr/TiAI/TiAlN)的复合结构体系类金刚石(DLC)涂层。选用拉曼光谱、光学显微镜、扫描电子显微镜和能谱仪对涂层形貌和结构进行表征测试。同时,利用显微硬度计、洛氏硬度计、划痕测试仪和球磨仪系统地分析了涂层的力学性能。研究结果表明:基体/Cr/TiA1,TiAlN/DLC涂层体系综合性能最佳,具有较高硬度(~3251HV)的同时结合性能最优(结合力~56.2N),且抗磨损能力最强。Cr/TiAl/TiAlN较其它中间层可更有效地缓解涂层体系内应力并提高基体/涂层间的结合强度和抗磨损能力。基体/TiAlN/DLC涂层体系复合硬度最高(-3350Hv),但其韧性最差、结合力最低(-35N),在硬质合金基体上直接沉积TiAlN作为中间层不利于提高基体/涂层间的结合强度。
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关键词
类金刚石
中间层
抗磨损能力
结合强度
下载PDF
职称材料
题名
中间层类型对类金刚石涂层界面结合性能和抗磨损能力的影响
被引量:
7
1
作者
纪锡旺
许振华
何利民
甄洪滨
李迪敏
郝俊文
机构
北京航空材料研究院
华东理工大学机械与动力工程学院
上海赛屋涂层技术有限公司
出处
《真空》
CAS
2013年第6期1-6,共6页
文摘
采用等离子体增强化学气相沉积(既CVD)、磁控溅射和阴极电弧离子镀技术相结合的方法,合理利用金属Cr靶和TiAl靶,选择性地在硬质合金基体上沉积了具有不同中间层(Cr、TiAI、TiAlN、Cr/TiAI/TiAlN)的复合结构体系类金刚石(DLC)涂层。选用拉曼光谱、光学显微镜、扫描电子显微镜和能谱仪对涂层形貌和结构进行表征测试。同时,利用显微硬度计、洛氏硬度计、划痕测试仪和球磨仪系统地分析了涂层的力学性能。研究结果表明:基体/Cr/TiA1,TiAlN/DLC涂层体系综合性能最佳,具有较高硬度(~3251HV)的同时结合性能最优(结合力~56.2N),且抗磨损能力最强。Cr/TiAl/TiAlN较其它中间层可更有效地缓解涂层体系内应力并提高基体/涂层间的结合强度和抗磨损能力。基体/TiAlN/DLC涂层体系复合硬度最高(-3350Hv),但其韧性最差、结合力最低(-35N),在硬质合金基体上直接沉积TiAlN作为中间层不利于提高基体/涂层间的结合强度。
关键词
类金刚石
中间层
抗磨损能力
结合强度
Keywords
diamond-like carbon
interlayers
wear resistance
adhesion
分类号
TG17 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
中间层类型对类金刚石涂层界面结合性能和抗磨损能力的影响
纪锡旺
许振华
何利民
甄洪滨
李迪敏
郝俊文
《真空》
CAS
2013
7
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职称材料
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