用于微米尺寸检测技术的涡流测量装置

根据高频涡流原理的集肤效应,研制出非接触式多通道微米尺寸测量系统。本文论述系统的组成、技术的原理、实验的测试结果,并得到小于2μm的误差结果,从而说明该系统满足精密零件的在线筛选检测的要求,在全自动生产线上有广阔的应用前景。