适用于测量薄片材料复介电常数的改进TE_(01n)腔法

本文提出一种适用于测量薄片材料复介电常数的改进TE0 1n谐振腔法。本方法将待测样品从短路活塞处抬高 ,即在待测薄片样品下面垫上已知复介电常数材料 ,以提高测量系统的灵敏度 ;如有必要也可以在待测薄片样品的上面压上一块已知复介电常数材料 ,提高样品材料的平整度 ,以减少空气隙带来的误差。文章推导了TE0 1n腔测量多层介质的理论计算公式 ,只要知道垫片和压块介质材料的复介电常数 ,通过实验测量和软件计算 ,就可以求得中间待测薄片的复介电常数。运用这种改进方案 ,我们对几种样品进行了测量 ,取得了较满意的结果。