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激光干涉结晶法制备一维周期结构的纳米硅阵列
1
作者
姚尧
方忠慧
+7 位作者
周江
李伟
马忠元
徐骏
黄信凡
陈坤基
宫本恭幸
小田俊理
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期4960-4965,共6页
利用激光干涉结晶方法,采用周期为400nm的一维(1D)移相光栅掩模调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在不同厚度的超薄氢化非晶硅(a-Si:H)膜内直接制备1D有序纳米硅(nc-Si)阵列.拉曼散射谱表明,样品上呈条状分布的受辐照区域...
利用激光干涉结晶方法,采用周期为400nm的一维(1D)移相光栅掩模调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在不同厚度的超薄氢化非晶硅(a-Si:H)膜内直接制备1D有序纳米硅(nc-Si)阵列.拉曼散射谱表明,样品上呈条状分布的受辐照区域发生晶化.原子力显微镜和透射电子显微镜测试结果表明:1D的nc-Si阵列的周期和移相光栅掩模一样.随着a-Si:H膜厚度从10nm降至4nm,通过控制激光的能量密度,每个周期中nc-Si条状分布区宽度可达到30nm.nc-Si条状分布区的高分辨电子显微镜照片显示出清晰的nc-Si晶格像.
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关键词
纳米硅
激光干涉结晶
移相光栅
定域晶化
原文传递
Ga_(1-x)In_xAs/GaInAsP/InP张应变层量子阱的增益特性
2
作者
黄翊东
荒井滋久
+1 位作者
彭江得
周炳琨
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第9期21-27,共7页
在运用变形计算法计算了Ga1-xInxAs/GaInAsP/InP应变量子阱子能带结构的基础上,综合考虑了子能带耦合效应对价带子能带与跃迁矩阵元的作用及状态密度对增益线宽的影响,首次从理论上发现张应变量子阱中的TM模...
在运用变形计算法计算了Ga1-xInxAs/GaInAsP/InP应变量子阱子能带结构的基础上,综合考虑了子能带耦合效应对价带子能带与跃迁矩阵元的作用及状态密度对增益线宽的影响,首次从理论上发现张应变量子阱中的TM模具有比压应变或无应变量子阱中的主模式TE模更为优异的增益特性。即增益系数更大,微分增益更高,线宽更窄。
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关键词
张应变
量子阱
增益特性
半导体
磷化铟
GAINAS
原文传递
题名
激光干涉结晶法制备一维周期结构的纳米硅阵列
1
作者
姚尧
方忠慧
周江
李伟
马忠元
徐骏
黄信凡
陈坤基
宫本恭幸
小田俊理
机构
南京
大学
物理
系
东京工业大学物理电子学系
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期4960-4965,共6页
基金
国家自然科学基金(批准号:90301009
60571008
+1 种基金
60471021)
国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB932202)资助的课题~~
文摘
利用激光干涉结晶方法,采用周期为400nm的一维(1D)移相光栅掩模调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在不同厚度的超薄氢化非晶硅(a-Si:H)膜内直接制备1D有序纳米硅(nc-Si)阵列.拉曼散射谱表明,样品上呈条状分布的受辐照区域发生晶化.原子力显微镜和透射电子显微镜测试结果表明:1D的nc-Si阵列的周期和移相光栅掩模一样.随着a-Si:H膜厚度从10nm降至4nm,通过控制激光的能量密度,每个周期中nc-Si条状分布区宽度可达到30nm.nc-Si条状分布区的高分辨电子显微镜照片显示出清晰的nc-Si晶格像.
关键词
纳米硅
激光干涉结晶
移相光栅
定域晶化
Keywords
nanocrystalline silicon,laser interference crystallization,phase shifting grating,local crystallization
分类号
TN24 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
Ga_(1-x)In_xAs/GaInAsP/InP张应变层量子阱的增益特性
2
作者
黄翊东
荒井滋久
彭江得
周炳琨
机构
清华
大学
电子
工程
系
出处
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第9期21-27,共7页
文摘
在运用变形计算法计算了Ga1-xInxAs/GaInAsP/InP应变量子阱子能带结构的基础上,综合考虑了子能带耦合效应对价带子能带与跃迁矩阵元的作用及状态密度对增益线宽的影响,首次从理论上发现张应变量子阱中的TM模具有比压应变或无应变量子阱中的主模式TE模更为优异的增益特性。即增益系数更大,微分增益更高,线宽更窄。
关键词
张应变
量子阱
增益特性
半导体
磷化铟
GAINAS
Keywords
tensile-strained
quantum well (QW)
gain characteristic
分类号
O471.1 [理学—半导体物理]
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光干涉结晶法制备一维周期结构的纳米硅阵列
姚尧
方忠慧
周江
李伟
马忠元
徐骏
黄信凡
陈坤基
宫本恭幸
小田俊理
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
原文传递
2
Ga_(1-x)In_xAs/GaInAsP/InP张应变层量子阱的增益特性
黄翊东
荒井滋久
彭江得
周炳琨
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
原文传递
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