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基于虚拟样机技术的曲轴多体动力学仿真 被引量:17
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作者 马星国 尤小梅 闻邦椿 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2008年第9期155-157,共3页
基于虚拟样机技术和柔性多体动力学理论,综合运用三维建模,有限元分析以及多体动力学仿真等技术,建立包括曲轴柔性体以及随曲轴一起转动的零件刚性体在内的整个曲轴系统的虚拟样机模型,通过进行曲轴系统在发动机真实工况下的柔性多体动... 基于虚拟样机技术和柔性多体动力学理论,综合运用三维建模,有限元分析以及多体动力学仿真等技术,建立包括曲轴柔性体以及随曲轴一起转动的零件刚性体在内的整个曲轴系统的虚拟样机模型,通过进行曲轴系统在发动机真实工况下的柔性多体动力学仿真计算,得到了各构件之间相互作用力,继而得到曲轴在一个工作循环周期内的实时动力学响应,为曲轴的优化设计奠定了基础。 展开更多
关键词 曲轴 虚拟样机技术 柔性多体动力学
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微波化学气相沉积制备氧化铝薄膜及钝化性能研究 被引量:3
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作者 张健 巴德纯 +1 位作者 刘坤 杜广煜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期529-533,共5页
AlO_x薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用最新研发的微波等离子增强化学气相沉积(MW-PECVD)系统,在单晶硅基体上用不同微波功率和生长温度制备氧化铝膜层样品,并通过扫描电镜、SE800椭偏仪和WT200... AlO_x薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用最新研发的微波等离子增强化学气相沉积(MW-PECVD)系统,在单晶硅基体上用不同微波功率和生长温度制备氧化铝膜层样品,并通过扫描电镜、SE800椭偏仪和WT2000少子寿命测量仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、钝化性能进行分析。实验结果表明,LMW-PECVD制备的AlO_x薄膜沉积速度快且薄膜质量高,适用于大规模企业生产。此外,微波功率和生长温度都对AlO_x薄膜的钝化性能有着显著的影响。 展开更多
关键词 线性微波化学气相沉积 氧化铝薄膜 少子寿命 微波功率 温度
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射频磁控溅射制备氮化钽薄膜及微结构和电性能研究 被引量:2
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作者 张健 巴德纯 +1 位作者 赵崇凌 陆涛 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期975-978,共4页
采用自主研发系统,应用反应射频磁控技术,在氧化铝陶瓷样片上制备了方阻稳定性好的Ta N薄膜,研究了氮分压(N2/(N2+Ar))、沉积温度、沉积时间对Ta N膜层结构和电性能的影响,通过X射线衍射、四探针方阻仪器测试了薄膜的微结构和方阻值。... 采用自主研发系统,应用反应射频磁控技术,在氧化铝陶瓷样片上制备了方阻稳定性好的Ta N薄膜,研究了氮分压(N2/(N2+Ar))、沉积温度、沉积时间对Ta N膜层结构和电性能的影响,通过X射线衍射、四探针方阻仪器测试了薄膜的微结构和方阻值。结果表明:随氮分压的增大,Ta N薄膜的微结构明显变化,同时Ta N薄膜的方阻也有显著增大趋势;随着沉积温度的提高,Ta N薄膜的方阻有减小趋势,当温度达到400℃时,制备出了方阻小于100Ω/□的薄膜;随着沉积时间的加长,Ta N薄膜的方阻也出现减小的现象;最后制备出工艺稳定性好的方阻50Ω/□的Ta N薄膜。 展开更多
关键词 射频磁控 TaN薄膜 氮分压 沉积温度 沉积时间
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行星轮系刚柔耦合多体动力学分析 被引量:19
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作者 马星国 杨伟 +2 位作者 尤小梅 陈春刚 张芳 《中国工程机械学报》 2009年第2期146-152,共7页
建立了行星轮系刚柔耦合多体动力学仿真模型,应用多体动力学仿真分析软件RecurDyn,仿真计算了行星轮系齿轮在完整工作周期所给定最危险工况下的动力学响应,得到了刚柔、柔柔齿轮副之间的动态接触力,与理论值比较吻合;同时得到了柔性行... 建立了行星轮系刚柔耦合多体动力学仿真模型,应用多体动力学仿真分析软件RecurDyn,仿真计算了行星轮系齿轮在完整工作周期所给定最危险工况下的动力学响应,得到了刚柔、柔柔齿轮副之间的动态接触力,与理论值比较吻合;同时得到了柔性行星齿轮和太阳轮的动态等效应力分布云图,以及任意节点的等效应力,分析出行星轮破坏的原因,为行星轮的动态优化设计和灵敏度分析提供参考. 展开更多
关键词 行星轮系 刚柔耦合 多体动力学 RECURDYN
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基于LabVIEW的故障诊断系统设计 被引量:4
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作者 杜永英 马业鹏 吕春梅 《煤矿机械》 北大核心 2011年第1期258-260,共3页
采用虚拟仪器技术对旋转机械的振动信号进行高速实时数据采集,对采集到的振动信号作相应处理,通过显示控件实现对旋转机械的状态监测,运用数字信号分析方法对转子振动信号进行分析,通过绘制三维谱振等图谱实现对旋转机械的故障诊断。
关键词 虚拟仪器 故障诊断 转子 状态监测 信号分析
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《液压与气压传动》课程网络化教学的实现 被引量:1
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作者 李松晶 姜继海 张健成 《机床与液压》 北大核心 2003年第2期184-185,230,共3页
网络化教学和传统的教学方式有着共同点,也有很多不同之处,本文总结了《液压与气压传动》课程传统教学方法和网络化教学的各自特点,介绍了《液压与气压传动》课程实现网络化教学的方法,以及更好地完成网络化教学的措施。
关键词 《液压与气压传动》 网络教学 网络课程 教学设计 教学方法
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某型军用V8发动机曲轴的动态强度分析 被引量:1
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作者 尤小梅 马星国 闻邦椿 《组合机床与自动化加工技术》 2008年第6期1-4,7,共5页
以某型军用V8发动机曲轴为研究对象,结合三维实体建模,有限元分析与柔性体生成技术,多体动力学的动态事件仿真等手段,搭建了曲轴系统柔性多体系统动力学的仿真分析模型,研究了曲轴在实际工况下实时动力学响应,找到曲轴在工作过程中的危... 以某型军用V8发动机曲轴为研究对象,结合三维实体建模,有限元分析与柔性体生成技术,多体动力学的动态事件仿真等手段,搭建了曲轴系统柔性多体系统动力学的仿真分析模型,研究了曲轴在实际工况下实时动力学响应,找到曲轴在工作过程中的危险部位,并对该危险部位进行了结构优化,所得结果与实践结果吻合较好。 展开更多
关键词 曲轴 响应 仿真 多体动力学
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曲轴系统的数值模拟分析 被引量:2
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作者 尤小梅 马星国 闻邦椿 《中国工程机械学报》 2008年第2期155-160,共6页
基于柔性多体动力学理论,借助虚拟样机技术,在微机平台上搭建了计算机辅助集成技术(CAX)辅助集成分析环境.建立了某型号发动机曲轴系统的虚拟样机模型,并对该系统进行了真实工况下的仿真分析,给出了系统中相关零部件的时域分析图,得到... 基于柔性多体动力学理论,借助虚拟样机技术,在微机平台上搭建了计算机辅助集成技术(CAX)辅助集成分析环境.建立了某型号发动机曲轴系统的虚拟样机模型,并对该系统进行了真实工况下的仿真分析,给出了系统中相关零部件的时域分析图,得到了关键部件曲轴的实时应力和危险部位.仿真结果与理论分析基本一致,为虚拟样机在曲轴分析中的可行性应用提供了理论参考. 展开更多
关键词 曲轴 虚拟样机 仿真 柔性多体动力学
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工艺气体比例对微波MOCVD沉积氧化铝膜性能影响
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作者 张健 巴德纯 +2 位作者 赵崇凌 杜广煜 刘坤 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期227-230,共4页
AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N_2O和TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成... AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N_2O和TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试分析。实验结果表明,随着N_2O比例增大,薄膜中O/Al原子比例有上升趋势;膜层沉积速度显著降低;膜层折射率开始趋于稳定而后迅速降低。所以,工艺气体比例对LMW-MOCVD沉积氧化铝膜的性能有明显影响。 展开更多
关键词 线性微波源 氧化铝薄膜 工艺气体比例 折射率 沉积速度
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线性微波化学气相沉积制备AlO_x/SiN_x双层薄膜及钝化性能的研究
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作者 张健 巴德纯 +1 位作者 张振厚 赵崇凌 《真空》 CAS 2016年第3期7-11,共5页
通过线性微波化学气相沉积技术在P型单晶样品上制备了AlO_x/SiN_x双层薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析。结果表明,线性微波化学气相沉积技术可以制备出高生长速度、高... 通过线性微波化学气相沉积技术在P型单晶样品上制备了AlO_x/SiN_x双层薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析。结果表明,线性微波化学气相沉积技术可以制备出高生长速度、高质量的AlO_x薄膜和SiN_x薄膜,AlO_x薄膜生长速度达到了180nm/min,SiN_x薄膜生长速度达到了135nm/min;经过AlO_x/SiN_x双层薄膜钝化的P型单晶硅有效少子寿命达到了2300μs,且经过800℃产线烧结工序,少子寿命下降幅度很低,热稳定性优异。 展开更多
关键词 线性微波化学气相沉积 氧化铝薄膜 氮化硅薄膜 有效少子寿命
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微波化学气相沉积制备AlO_x薄膜及钝化晶硅性能的研究
11
作者 张健 巴德纯 张振厚 《真空与低温》 2015年第6期315-319,共5页
通过线性微波化学气相沉积(LMW-PECVD)技术在P型单晶样品上高生长速度下制备了高质量的AlOx薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析.结果表明,AlOx薄膜的厚度和折射率都对... 通过线性微波化学气相沉积(LMW-PECVD)技术在P型单晶样品上高生长速度下制备了高质量的AlOx薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析.结果表明,AlOx薄膜的厚度和折射率都对晶硅的钝化效果有影响,薄膜厚度在20~30 nm之间、折射率在1.6~1.65 之间出现了理想的钝化效果;热处理对AlOx薄膜钝化效果的影响较为复杂,理想的热处理温度在350~400 ℃之间. 展开更多
关键词 线性微波源 氧化铝薄膜 少子寿命
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氧流量对直流反应磁控溅射制备TiO_2薄膜的光学性质的影响 被引量:9
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作者 王贺权 沈辉 +2 位作者 巴德纯 汪保卫 闻立时 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期36-40,共5页
应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,在工作压强为2.0×10-1Pa,氩气流量为42.6 sccm,溅射时间为30 min的条件下,通过控制氧流量改变TiO2薄膜的光学性质。应用n&k Analyzer 1200分析器测量,当氧流量增加时薄膜... 应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,在工作压强为2.0×10-1Pa,氩气流量为42.6 sccm,溅射时间为30 min的条件下,通过控制氧流量改变TiO2薄膜的光学性质。应用n&k Analyzer 1200分析器测量,当氧流量增加时薄膜的平均反射率降低,同时反射低谷向中心波长(550 nm)处移动,薄膜的消光系数k有增大的趋势,但对薄膜的折射率影响不大。通过XRD和SEM表征发现,随着氧流量的增加金红石相的TiO2增多,并且表面趋于致密平滑。 展开更多
关键词 二氧化钛薄膜 直流反应磁控溅射 氧流量 反射率
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