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题名飞秒激光系统图像调焦装置以及方法
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作者
寇千慧
刘华
谭明月
陆子凤
张有旋
王雨时
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机构
东北师范大学先进光电子功能材料研究中心、紫外光发射材料与技术教育部重点实验室
北京控制工程研究所
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出处
《空间控制技术与应用》
CSCD
北大核心
2020年第6期37-42,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61875036)。
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文摘
飞秒激光直写技术在复杂三维微结构加工领域具有显著优势,而调焦是否精准直接影响了所加工结构的完整度.提出了在光路中临时置入调焦光源和物的图像调焦技术,通过调节物的位置使其成像面与激光聚焦面一致,从而通过清晰可分辨的成像状态间接反映激光聚焦状态.利用Zemax软件模拟分析了原飞秒激光光路与加入调焦光源和物的调焦光路,二者可实现相同加工物镜后工作距离与良好成像质量,证明了该方法的可行性.通过分析得到该过程的成像误差主要由成像镜头焦深(3.9μm)引起,我们获得的理想调焦精度可达到1/2焦深以内.设计了单层高度为5μm的二层圆柱结构,通过多次实验验证了所加工元件高度误差在1.5μm范围以内,与理论分析一致,满足飞秒激光系统的调焦要求.
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关键词
飞秒激光直写系统
调焦技术
光学设计
模拟分析
加工精度
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Keywords
femtosecond laser direct writing system
focusing technology
optical design
simulation analysis
precision
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分类号
O43
[机械工程—光学工程]
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