二维PSD在测量物体平面位置的实验研究

首先介绍了PSD的检测原理,重点阐述了采用二维PSD及透镜组合来实现平面中物体的位置测量。然后分析了影响PSD定位精度的主要因素并提出相应的解决方法。最后将PSD定位系统在三维中的应用推广进行了分析。