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题名不同溶液中浸泡处理对WO_(3)薄膜的影响
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作者
祁昊
朱秀梅
苏江滨
何祖明
蒋美萍
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机构
常州大学微电子与控制工程学院电子科学与技术实验中心
东南大学东南大学-fei纳皮米中心和mems教育部重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2022年第5期480-488,共9页
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基金
江苏省自然科学基金资助项目(BK20191453)
江苏省研究生科研创新计划资助项目(KYCX21_2825,KYCX21_2819)。
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文摘
WO_(3)是一种重要的电致变色材料,可应用于屏幕显示、航天热控及智能窗等诸多领域。然而在实际应用中,WO_(3)的稳定性不足,这极大地制约了其进一步发展。利用磁控溅射法制备了非晶WO_(3)薄膜,系统研究了在去离子水、盐酸、氢氧化钠、丙酮和乙醇等不同溶液中浸泡处理对WO_(3)薄膜的表面形貌、微观结构、光学性质和电致变色特性的影响。研究结果表明,在去离子水、丙酮和乙醇中浸泡后,WO_(3)薄膜有少量溶解,表面形貌无明显变化,微观结构仍然是非晶的;在盐酸中浸泡后,WO_(3)薄膜从氧化铟锡(ITO)衬底上脱落,样品被破坏;在氢氧化钠溶液中浸泡后,WO_(3)与之反应生成晶态Na_(2)WO_(4)。在上述五种溶液中浸泡后,样品的可见光透过率都有所提升,样品的禁带宽度都变宽了。在去离子水、氢氧化钠、丙酮和乙醇溶液中浸泡后,样品的可见光透过率范围为79%~85%,其中WO_(3)的禁带宽度范围为3.22~3.40 eV,在盐酸溶液中浸泡后的样品只剩下衬底ITO,其禁带宽度为3.76 eV。在丙酮、乙醇和氢氧化钠溶液中浸泡后,样品的光学调制均显著,尤其是在乙醇中浸泡后的WO_(3)薄膜以及在氢氧化钠溶液中浸泡后得到的Na_(2)WO_(4)薄膜,它们在676.2 nm波长处的着色态与褪色态的透过率之差均为85%,显示出良好的电致变色特性。
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关键词
WO_(3)薄膜
稳定性
液体环境
电致变色
磁控溅射
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Keywords
WO_(3)thin film
stability
liquid environment
electrochromism
magnetron sputtering
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分类号
TN304.21
[电子电信—物理电子学]
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