电讯系统中硅微机械谐振器/滤波器通带灵敏度分析

以静电梳驱动折叠梁硅微机械谐振器为研究对象 ,在建立硅微机械谐振器振动方程的基础上 ,导出了幅频函数、相频函数对固有频率相对误差、品质因数相对误差的灵敏度表达式 ,重点分析了固有频率相对误差、品质因数相对误差在中心频率处、3d B截止频率处对幅频特性、相频特性的影响 ,以及对常用的 3d B通带带宽的影响 ,得出了一些重要的结论。