一个非晶硅薄膜太阳能电池制备用激光刻线系统

非晶硅薄膜太阳能电池制备过程中的激光刻线工艺要求刻线宽度在30μm～50μm之间,死区范围小于300μm,刻线深度符合工艺要求。这不仅要求激光器具有较高的光束质量,而且要求光学系统具有较高的成像质量和较宽的焦深。设计了单激光器四分光路的激光刻线系统。采用设计的激光刻线装置,在1 400mm×1 100mm×3.2mm玻璃基板上进行刻线试验,分别得到刻线P1,P2,P3的线宽为35μm,50μm和45μm,死区范围(P1至P3的距离)为287μm,最终深度分别为0.98μm,0.24μm和0.58μm,刻线宽度和深度均符合薄膜太阳能电池制备工艺要求。

五角星形小磨头特性曲线研究

磨头的工作函数是数控小磨头抛光工艺中的一个基本函数,有必要认真研究并确定其形状,优化其参数。在已有的圆形磨头的数学模型及工作特性研究基础上,通过引入修正因子,模拟得出了五角星形小磨头在行星运动和平转动两种运动方式下的工作函数及其特性曲线,分析并得出其优化后的工作参数。模拟结果表明,五角星形磨头在常用运动方式下的工作特性曲线均具有中心最大峰值,近似于高斯分布,具有良好的材料去除能力。

椭圆形小磨头特性曲线研究

数控小磨头抛光技术中,磨头的工作函数是加工过程中的一个基本函数。在已有的圆形磨头的数学模型及工作特性研究基础上,讨论了椭圆形小磨头在行星运动和平转动两种常用运动方式下的工作函数及其特性曲线,分析并模拟得出其优化后的工作参数。结果表明,椭圆形磨头在常用运动方式下的工作特性曲线均具有中心最大峰值,近似于高斯分布,具有良好的材料去除能力。