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硅油介质中矩形电容式微机械超声换能器发射与接收声场特性研究
1
作者
高碧珍
张赛
+3 位作者
何常德
王智豪
王子渊
张文栋
《应用声学》
CSCD
北大核心
2024年第1期151-159,共9页
与传统压电式超声换能器相比,基于微机电系统微加工技术制备的电容式微机械超声换能器(CMUT)具有频带宽、灵敏度高、一致性好、易于集成等优势,在医学超声成像中具有广阔的应用前景。该文针对研制的矩形CMUT器件,开展硅油介质中CMUT发...
与传统压电式超声换能器相比,基于微机电系统微加工技术制备的电容式微机械超声换能器(CMUT)具有频带宽、灵敏度高、一致性好、易于集成等优势,在医学超声成像中具有广阔的应用前景。该文针对研制的矩形CMUT器件,开展硅油介质中CMUT发射、接收声场特性的理论分析及实验验证研究。首先,针对CMUT阵元结构特征和工作原理,根据指向性函数理论和Bridge乘积原理,建立了矩形CMUT阵元指向性函数分析模型。此基础上,分析微元数目以及谐振频率对CMUT指向性的影响规律。最后,针对7 mm×7 mm二维矩形CMUT在硅油介质中的发射和接收特性进行了实验验证,测试表明发射指向性曲线与仿真理论曲线基本吻合;此外,CMUT接收与发射指向性的测试表明,收发指向性具有一致性,从而验证了声场的互易性。该文的研究对CMUT器件的封装设计以及基于CMUT阵列的乳腺超声CT成像系统的研制具有重要参考价值。
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关键词
电容式微机械超声换能器
矩形阵元
指向性
声场互易
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职称材料
面向CMUT阵元的阻抗匹配设计与声场特性测试
被引量:
2
2
作者
李一凡
张赛
+3 位作者
何常德
王子渊
高鹏飞
张国军
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第4期89-92,共4页
为解决电容式微机械超声换能器(CMUT)声发射能力弱、输出声压低的问题,根据CMUT工作原理与阻抗匹配理论设计了匹配电路。在此基础上,测试阻抗匹配前后CMUT的轴向声场与辐射声场指向性。测试结果表明:在相同测试距离或偏转角度时,阻抗匹...
为解决电容式微机械超声换能器(CMUT)声发射能力弱、输出声压低的问题,根据CMUT工作原理与阻抗匹配理论设计了匹配电路。在此基础上,测试阻抗匹配前后CMUT的轴向声场与辐射声场指向性。测试结果表明:在相同测试距离或偏转角度时,阻抗匹配后的CMUT输出声压明显提升,且不会影响CMUT的声场特性。通过实验验证与对比分析,该阻抗匹配电路有效改变CMUT的阻抗特性,提升声发射能力,为CMUT的实际应用提供解决方案。
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关键词
电容式微机械超声换能器
阻抗匹配
SMITH圆图
声场特性
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职称材料
面向CMUT声发射特性的驱动电路优化设计
3
作者
李一凡
张国军
+3 位作者
何常德
王子渊
高鹏飞
孟亚楠
《应用声学》
CSCD
北大核心
2022年第1期168-172,共5页
根据电容式微机械超声换能器(CMUT)的工作原理,设计了用于驱动CMUT发射超声波的电路。通过适当的串行匹配,消除了脉冲激励信号的过冲现象。在此基础上进一步探究了脉冲激励参数对CMUT声发射特性影响。结果表明,随着激励脉冲个数的增加,C...
根据电容式微机械超声换能器(CMUT)的工作原理,设计了用于驱动CMUT发射超声波的电路。通过适当的串行匹配,消除了脉冲激励信号的过冲现象。在此基础上进一步探究了脉冲激励参数对CMUT声发射特性影响。结果表明,随着激励脉冲个数的增加,CMUT输出超声信号的有效带宽逐渐变窄,二次谐波逐渐增强;随着激励脉冲占空比的增加,CMUT的输出声压先增大后减小,二次谐波先减小后增大。该文研究结果为CMUT的测试与应用奠定了基础。
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关键词
电容式微机械超声传感器
驱动电路
串行匹配
声发射特性
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职称材料
题名
硅油介质中矩形电容式微机械超声换能器发射与接收声场特性研究
1
作者
高碧珍
张赛
何常德
王智豪
王子渊
张文栋
机构
中北大学仪器与电子学院动态测试省部共建实验室
江苏
大学
物理
与电子
工程
学院
出处
《应用声学》
CSCD
北大核心
2024年第1期151-159,共9页
基金
国家重大科研仪器研制项目(61927807)
国家自然科学基金面上项目(62271235)。
文摘
与传统压电式超声换能器相比,基于微机电系统微加工技术制备的电容式微机械超声换能器(CMUT)具有频带宽、灵敏度高、一致性好、易于集成等优势,在医学超声成像中具有广阔的应用前景。该文针对研制的矩形CMUT器件,开展硅油介质中CMUT发射、接收声场特性的理论分析及实验验证研究。首先,针对CMUT阵元结构特征和工作原理,根据指向性函数理论和Bridge乘积原理,建立了矩形CMUT阵元指向性函数分析模型。此基础上,分析微元数目以及谐振频率对CMUT指向性的影响规律。最后,针对7 mm×7 mm二维矩形CMUT在硅油介质中的发射和接收特性进行了实验验证,测试表明发射指向性曲线与仿真理论曲线基本吻合;此外,CMUT接收与发射指向性的测试表明,收发指向性具有一致性,从而验证了声场的互易性。该文的研究对CMUT器件的封装设计以及基于CMUT阵列的乳腺超声CT成像系统的研制具有重要参考价值。
关键词
电容式微机械超声换能器
矩形阵元
指向性
声场互易
Keywords
Capacitive micromechanical ultrasonic transducer
Rectangular array element
Directivity
Soundfield reciprocity
分类号
TB552 [理学—声学]
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职称材料
题名
面向CMUT阵元的阻抗匹配设计与声场特性测试
被引量:
2
2
作者
李一凡
张赛
何常德
王子渊
高鹏飞
张国军
机构
中北大学仪器与电子学院动态测试省部共建实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第4期89-92,共4页
基金
国家重大科研仪器研制项目(61927807)
国家重点研发计划资助项目(2018YFF01010500)。
文摘
为解决电容式微机械超声换能器(CMUT)声发射能力弱、输出声压低的问题,根据CMUT工作原理与阻抗匹配理论设计了匹配电路。在此基础上,测试阻抗匹配前后CMUT的轴向声场与辐射声场指向性。测试结果表明:在相同测试距离或偏转角度时,阻抗匹配后的CMUT输出声压明显提升,且不会影响CMUT的声场特性。通过实验验证与对比分析,该阻抗匹配电路有效改变CMUT的阻抗特性,提升声发射能力,为CMUT的实际应用提供解决方案。
关键词
电容式微机械超声换能器
阻抗匹配
SMITH圆图
声场特性
Keywords
capacitive micromachined ultrasonic transducer(CMUT)
impedance matching
Smith chart
sound field characteristics
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TB552 [理学—声学]
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职称材料
题名
面向CMUT声发射特性的驱动电路优化设计
3
作者
李一凡
张国军
何常德
王子渊
高鹏飞
孟亚楠
机构
中北大学仪器与电子学院动态测试省部共建实验室
出处
《应用声学》
CSCD
北大核心
2022年第1期168-172,共5页
基金
国家重大科研仪器研制项目(61927807)
国家重点研发计划项目(2016YFC0105004)。
文摘
根据电容式微机械超声换能器(CMUT)的工作原理,设计了用于驱动CMUT发射超声波的电路。通过适当的串行匹配,消除了脉冲激励信号的过冲现象。在此基础上进一步探究了脉冲激励参数对CMUT声发射特性影响。结果表明,随着激励脉冲个数的增加,CMUT输出超声信号的有效带宽逐渐变窄,二次谐波逐渐增强;随着激励脉冲占空比的增加,CMUT的输出声压先增大后减小,二次谐波先减小后增大。该文研究结果为CMUT的测试与应用奠定了基础。
关键词
电容式微机械超声传感器
驱动电路
串行匹配
声发射特性
Keywords
Capacitance micromachined ultrasonic transducer
Drive circuit
Series termination
Characteristic of acoustic transmission
分类号
TN791 [电子电信—电路与系统]
TB552 [理学—声学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅油介质中矩形电容式微机械超声换能器发射与接收声场特性研究
高碧珍
张赛
何常德
王智豪
王子渊
张文栋
《应用声学》
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
面向CMUT阵元的阻抗匹配设计与声场特性测试
李一凡
张赛
何常德
王子渊
高鹏飞
张国军
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022
2
下载PDF
职称材料
3
面向CMUT声发射特性的驱动电路优化设计
李一凡
张国军
何常德
王子渊
高鹏飞
孟亚楠
《应用声学》
CSCD
北大核心
2022
0
下载PDF
职称材料
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