微机械陀螺测试技术的研究

文章介绍了微机械陀螺的基本原理以及几种不同检测方式的硅微陀螺,包括电容式、压电式、压阻式、隧道式等,分析了这些微陀螺的基本检测原理,总结出它们在检测性能方面存在的一些问题.为了提高微机械陀螺的灵敏度提出用新的微机理介观压阻效应,并对基于介观压阻效应的微陀螺前景进行了论述.

基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In_(0.1)Ga_(0.9)As贴膜微机械陀螺的设计

首先说明了微机械陀螺的四种传统检测方法的局限性,然后设计了一种新型的基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In0.1Ga0.9As贴膜微机械陀螺,指出了该陀螺设计时应注意的几个方面,并且利用介观压阻理论分析得出用共振隧穿薄膜作为敏感元件能将微机械陀螺的灵敏度提高一个数量级,证明了介观压阻效应的微陀螺比传统压阻检测方式的微陀螺具有更高的灵敏度和精度。