衬底温度对形成CN_x薄膜的影响

在不同的衬底温度下用射频溅射方法制备了氮化碳薄膜。系统地研究了氮化碳薄膜的电子结构和光学性质随温度的变化规律。用富里叶变换红外光谱（FTIR）和X光电子能谱（XPS）对其化学结构及成分进行了分析。用透射紫外－可见－近红外（UV）光谱对其光学性质进行了评价。结果表明：薄膜中最大氮原子浓度为0．4。芯能级C1s和N1s的结合能产生了4.41～0.3eV的能移。能移的大小与衬底温度密切相关，并且薄膜中的N原子浓度和芯能级结合能随衬底温度增加而减少，表明增加衬底温度不利于氯化碳薄膜的形成。UV谱表明氯化碳膜在近红外区有一个好的透明性。但在2720nm附近存在有一明税的吸收峰。当衬底温度高于400℃时，该吸收峰消失。