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溅射气体流量比对磷掺杂ZnO电学性质的影响 被引量:2
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作者 解玉鹏 王显德 +1 位作者 张楠楠 蔚金 《大学物理实验》 2018年第5期75-78,共4页
采用磁控溅射方法在石英衬底上制备ZnO薄膜,研究溅射气体流量比对薄膜性能的影响,利用XRD对薄膜结构进行表征,SEM表征薄膜的表面形貌,讨论了溅射气体流量比对薄膜电学性质的影响。结果表明,当Ar/O_2为1/0.05时,得到p型ZnO:P,其电阻率为5... 采用磁控溅射方法在石英衬底上制备ZnO薄膜,研究溅射气体流量比对薄膜性能的影响,利用XRD对薄膜结构进行表征,SEM表征薄膜的表面形貌,讨论了溅射气体流量比对薄膜电学性质的影响。结果表明,当Ar/O_2为1/0.05时,得到p型ZnO:P,其电阻率为59.80Ωcm,迁移率为0.49 cm^2/Vs,空穴载流子浓度为2.33×10^(17)cm^(-3)。 展开更多
关键词 磁控溅射 ZNO薄膜 P型 电学性质
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微型智能家庭蔬菜栽培柜的设计 被引量:3
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作者 吴正玲 张楠楠 《信息技术与信息化》 2019年第7期61-62,共2页
本设计旨在为人们提供可长时间供应绿色果蔬的环境控制系统,能够自动检测植物生长环境的温度、湿度、光照强度等参数,且可以输入各参数设定值,各执行机构根据单片机的处理结果对植物的生长环境进行调整。
关键词 蔬菜栽培柜 AT89C52单片机 温湿度传感器 光照传感器
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