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题名溅射气体流量比对磷掺杂ZnO电学性质的影响
被引量:2
- 1
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作者
解玉鹏
王显德
张楠楠
蔚金
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机构
吉林化工学院
中国人民解放军吉林陆军预备役某师
海通证券股份有限公司
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出处
《大学物理实验》
2018年第5期75-78,共4页
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基金
吉林化工学院校级项目(2015053)
吉林化工学院校级博士启动项目(2015129)
吉林化工学院重大科技项目(2015011)
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文摘
采用磁控溅射方法在石英衬底上制备ZnO薄膜,研究溅射气体流量比对薄膜性能的影响,利用XRD对薄膜结构进行表征,SEM表征薄膜的表面形貌,讨论了溅射气体流量比对薄膜电学性质的影响。结果表明,当Ar/O_2为1/0.05时,得到p型ZnO:P,其电阻率为59.80Ωcm,迁移率为0.49 cm^2/Vs,空穴载流子浓度为2.33×10^(17)cm^(-3)。
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关键词
磁控溅射
ZNO薄膜
P型
电学性质
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Keywords
magnetron sputtering
ZnO Film
p type
electrical properties
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分类号
O4-047
[理学—物理]
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题名微型智能家庭蔬菜栽培柜的设计
被引量:3
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作者
吴正玲
张楠楠
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机构
吉林化工学院信息与控制工程学院
中国人民解放军吉林陆军预备役某师
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出处
《信息技术与信息化》
2019年第7期61-62,共2页
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文摘
本设计旨在为人们提供可长时间供应绿色果蔬的环境控制系统,能够自动检测植物生长环境的温度、湿度、光照强度等参数,且可以输入各参数设定值,各执行机构根据单片机的处理结果对植物的生长环境进行调整。
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关键词
蔬菜栽培柜
AT89C52单片机
温湿度传感器
光照传感器
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分类号
S63
[农业科学—蔬菜学]
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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