前言

微机电系统(MEMS)技术,特别是MEMS微细加工技术在许多应用领域产生了实质性的影响,带动了光学器件小型化的发展。微光机电系统(MOEMS)是由光学、微机械、微加工等相结合而产生的一种新兴光学技术,近年来,在MEMS领域受到越来越多的关注。MOEMS可以通过微执行装置实现对光的衍射、散射和折射等的控制,最终实现光开关、光显示、光扫描等功能。MEMS具有低成本、小体积、可批量化制造等特性,使得微光学系统在制造、系统集成和运行方面具有极大的优势。