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T—300扫描电镜消象散电路分析
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作者 刘跃华 徐彦平 刘伟 《电子显微学报》 CAS CSCD 1993年第2期208-208,共1页
T—300扫描电镜采用八极式电磁消象散器。它由八块小电磁铁组成,它们分成成两组,每组有四块,通过改变流入这两组线圈的电流强度和方向,即可改变它们的磁场强度和方向,从而消除象散。该消象散电路如图所示。该消象散电路由X、Y两组相同... T—300扫描电镜采用八极式电磁消象散器。它由八块小电磁铁组成,它们分成成两组,每组有四块,通过改变流入这两组线圈的电流强度和方向,即可改变它们的磁场强度和方向,从而消除象散。该消象散电路如图所示。该消象散电路由X、Y两组相同的电路组成,每组电路分别控制四个与之相隔的电磁线圈的电流。稳压管D_(17)为1S2192.其稳压值为8.2V。L点的电位V_L=(?)=(?)=2.7V,S_(13)是消象散高、低开关,当S_(13)分别接通L或H点,电压跟随器IC18_1可分别获得2.7V或8.2V的电压。因此,利用消象散开关S_(13)。 展开更多
关键词 电子显微镜 SEM 消象散 电路分析
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