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锑扩乳胶源工艺Φ100mm线生产应用研究
1
作者
夏长奉
《微电子技术》
2000年第5期49-51,共3页
关键词
锑扩乳胶源工艺
双极集成电路
Φ100mm线
下载PDF
职称材料
题名
锑扩乳胶源工艺Φ100mm线生产应用研究
1
作者
夏长奉
机构
中国华晶电子集团公司双级电路总厂
出处
《微电子技术》
2000年第5期49-51,共3页
关键词
锑扩乳胶源工艺
双极集成电路
Φ100mm线
分类号
TN431 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
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作者
出处
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1
锑扩乳胶源工艺Φ100mm线生产应用研究
夏长奉
《微电子技术》
2000
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