期刊文献+
共找到9篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
256M/1G DRAM工艺及前道制造设备 被引量:1
1
作者 翁寿松 《电子工业专用设备》 1997年第2期12-18,共7页
介绍256M/1GDRAM产品技术指标、工艺及前道制造设备,包括光刻机、腐蚀设备、离子注入设备、热处理设备。
关键词 256M/1G DRAM 设备 半导体制造工艺 光刻
下载PDF
深亚微米半导体器件制造的最新工艺及设备 被引量:1
2
作者 翁寿松 《半导体杂志》 1997年第4期27-31,共5页
介绍了深亚微米(035/025/018μm)半导体器件制造的最新工艺及设备,包括新一代CMOS工艺、FOND工艺、PSM技术、电子束光刻工艺、X射线光刻工艺、Cu互连技术和圆片老化筛选工艺及设备。
关键词 深亚微米 半导体器件 设备 制造工艺
下载PDF
256M/1G DRAM生产线的检测设备
3
作者 翁寿松 《电子工业专用设备》 1998年第1期20-25,共6页
介绍256M/1GDRAM生产线的检测设备,包括裸圆片、带图形圆片、膜厚及特性、条宽/线宽、掩模版、后道工序、环境检测设备、成品测试和环境试验设备。
关键词 256M/1GDRAM 检测 设备 IC 生产线
下载PDF
300mm圆片生产线及其制造设备
4
作者 翁寿松 《电子工业专用设备》 1997年第4期1-3,16,共4页
介绍使用300mm圆片的优势、标准、联盟、投资、生产线及其主要制造设备。
关键词 圆片 300mm圆片 生产线 设备 半导体器件
下载PDF
MPEG-2芯片及其应用
5
作者 翁寿松 《半导体情报》 1997年第6期38-41,共4页
介绍了MPEG-2标准。
关键词 MPEG-2 标准 芯片 VCD
下载PDF
近年世界半导体设备市场分析
6
作者 翁寿松 《半导体杂志》 1997年第3期31-34,共4页
介绍了1993~2000年世界半导体市场、世界半导体设备投资及世界半导体设备市场,后者包括光刻机、蚀刻设备、离子注入机、CMP设备和测试设备市场。
关键词 半导体设备 市场 投资 世界
下载PDF
俄罗斯IC工业及其制造设备
7
作者 翁寿松 《电子工业专用设备》 1998年第2期16-17,共2页
本文介绍了俄罗斯IC工业概况以及一条08μm、150mm(6英寸)圆片生产线的主要制造设备和分析仪器。
关键词 俄罗斯 IC 制造设备 电子工业
下载PDF
评价1GDRAM的技术及设备
8
作者 翁寿松 《电子产品可靠性与环境试验》 1998年第3期46-48,共3页
本文介绍了1GDRAM的电性能,论述了评价1GDRAM的技术及设备。
关键词 1GDRAM 评价 半导体产业 圆片制造
下载PDF
DB3S双触发二极管的失效分析
9
作者 翁寿松 黄英 《电子产品可靠性与环境试验》 1997年第5期19-21,共3页
本文论述了DB3S双触发二极管的原理、电性能、失效模式和失效机理,并提出改进办法。
关键词 双触发二极管 失效分析 DB3S
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部