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四氯化硅利用:氯氢化技术最理想
被引量:
8
1
作者
陈维平
姚又省
《化学工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期I0001-I0002,共2页
关键词
四氯化硅
氢化技术
理想
产业发展
多晶硅
有效利用
密闭循环
国内外
下载PDF
职称材料
题名
四氯化硅利用:氯氢化技术最理想
被引量:
8
1
作者
陈维平
姚又省
机构
中国华陆工程有限公司医药设计所
出处
《化学工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期I0001-I0002,共2页
关键词
四氯化硅
氢化技术
理想
产业发展
多晶硅
有效利用
密闭循环
国内外
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
TS224.8 [轻工技术与工程—粮食、油脂及植物蛋白工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
四氯化硅利用:氯氢化技术最理想
陈维平
姚又省
《化学工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009
8
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职称材料
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