用二元光学器件实现对CO_2激光束的圆形光斑到均匀光强分布的矩形光斑的变换

设计并制作了一种具有8个位相级的二元光学器件,将波长为10．6μmCO_2激光器输出的圆形光斑变换成均匀光强分布的矩形光斑。器件制作在GaAs基片上,两面镀有光学增透膜,适用于2000W的大功率激光加工系统中。此器件可以根据需要设计成不同规格。