基于混合本征模匹配的光刻掩膜分析方法研究

隐式模式匹配是分析波导结构电磁特性常用的数值方法。分析了现有隐式模式匹配方法在解决计算光刻问题上存在的局限性,以该方法为基础,提出了基于Krylov子空间理论的混合本征模重构以及显式模式匹配方法。修正了隐式模式匹配方法中采用的非严格迭代策略导致的本征模精度不足问题,算法计算复杂度保持在O(N^(1.5))。采用典型波导及周期结构对所提算法的精度及效率进行了验证。通过对高复杂度光刻掩膜结构进行仿真,将计算结果与高频结构仿真器软件以及严格耦合波分析(rigorous coupled wave analysis,RCWA)算法结果进行了对比,验证了本文所提方法在分析高复杂度光刻问题中的应用价值和效率优势。

无人机雷达航迹运动特征提取及组合分类方法

飞鸟和无人机目标的雷达回波存在高度相似性,区分难度较大。因此,对无人机、飞鸟以及动态降水杂波形成的目标航迹的时空间特征进行了研究,分析了无人机和飞鸟在运动机理以及行为模式上的差异,提出了一种基于目标航迹的运动特征提取方法,并构建了目标特征向量。基于探鸟雷达系统提供的目标实测航迹数据,建立了训练和测试样本集,采用监督类学习方法并结合随机森林模型实现了对无人机、飞鸟和降水杂波目标航迹的区分。实验结果表明,在广域范围内,无人机目标的正确识别率可达85%以上,分类器模型的运算效率高,样本适应性强,具备较好的普适性和实用价值。

一种新的估算天顶对流层延迟的积分方法

提出了一种新的估算天顶对流层延迟的积分算法,新算法在传统积分算法的基础上进行了改进,顾及了大气干折射率与大气压强、大气湿折射率与大气水汽压在空间分布上呈现近似指数变化的形式,并得到了更佳的计算结果。选取了中国地区2018年85个探空测站观测数据进行试算,结果表明,探空观测数据垂直采样平均间隔小于400 m时,两种积分算法估算的天顶对流层延迟ZTD(Zenith Total Delay)之差优于0.3 cm;探空观测数据垂直采样平均间隔大于900 m时,两种积分算法估算的ZTD之差约为1.89 cm。最后,选用GNSS精密单点定位获得的ZTD作为参考值,对新的积分算法进行了验证,结果表明,探空观测数据垂直采样平均间隔大于900 m时,与传统的积分方法相比,新积分方法获得的ZTD更接近参考值。