LiNbO_3电光调制器制作技术

光调制器是光通信关键器件之一。国内外已对LiNbO3电光调制器开展了基础理论、结构设计、工艺制 作、性能测试等方面的研究和开发。本文介绍了LiNbO3调制器关键制作技术与工艺。