PCMR体声波谐振器多物理场仿真及芯片制作

文章介绍了一种轮廓模式压电谐振器的工作原理,阐述了多物理场的概念并利用多物理场有限元分析方法分析了该谐振器的谐振过程,并利用多物理场原理对压电谐振器结构进行了仿真优化。多物理场仿真可以更加直观,深入的理解PCMR的工作原理和过程。不利用等效电路模型,所以可以准确的找到谐振器各组成部分对谐振器的影响。基于仿真的结果,分别设计了平板型(82.75MHz)和交指型(346.5MHz)轮廓模式谐振器并利用MEMS工艺对其进行了制作。制作的轮廓模式谐振器具有较高的Q值(800),机电耦合系数2%,测试结果和仿真结果基本的吻合。

基于相位匹配的高性能吸收型陷波器

介绍了一种高性能吸收型陷波器。此陷波器利用相位匹配方式实现吸收陷波,电路形式可以采用LC集总参数实现,也可以采用微带分布结构实现。LC结构陷波器使用传输线替代高低通LC电路实现相移,减少了元器件数量从而提高了调试效率,利用低Q值元器件实现了52d B的高陷波深度。微带分布结构陷波器Q值相对较高,具有3d B开口带宽仅3%,陷波深度最高可达60d B,通带衰减小等优点。陷波器采用"Q值补偿"的方式克服了传统陷波器的缺点,为利用低Q值元器件实现高陷波深度提供了新的思路。

8～12μm红外图像生成装置

介绍了一种将可见光图像转换为红外图像的装置.装置的核心器件是利用MEMS工艺制作的可见光/红外图像转换芯片.红外图像生成装置包括可见光图像生成系统、可见光/红外图像转换系统以及红外图像投影光学系统三部分.红外图像生成装置产生的红外图像辐射波段覆盖8~12μm,分辨率达到了20 lp/mm,可模拟温度范围为20~150℃,图像非均匀性小于5%,几何畸变小于3%.

一种基于FBAR技术的5.5GHz滤波器芯片的研制

报道了一种工作于5.5GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片。首先制作了一种串联谐振频率为5.5GHz的谐振器,采用该谐振器模型设计并实现了5.5GHz FBAR滤波器芯片。微波探针测试结果显示,中心插损为1.68d B,1d B带宽105MHz,5.3GHz处抑制为39.66d Bc,5.7GHz处抑制为48.42d Bc。实现了5.5GHz窄带滤波器的芯片化。