铂薄膜热敏电阻激光微调过程中的调阻精度控制

本文提出了一种基于激光刻蚀路径的修调电阻精度控制方法。该方法通过确定蛇型修调的切割长度并将其与单口直修调组合来实现对修调精度的控制。在保证阻值测量精度的条件下,应用该法在100Ω～2000Ω的铂薄膜热敏电阻的阻值修调,激光修调精度可达到0.1%。