外延片批量生产中的质量检验技术

随着现今外延产业的日益成熟,外延片需求量日益增加,对外延片的质量提出了更高的要求。第四十六研究所硅外延材料部在全面质量管理阶段(TQM),将质量检验技术贯穿于产品生产的全过程,不仅利用质量检验把关防止不合格品的非预期使用和交付,同时,通过过程控制预防了不合格品的产生。文章结合外延片批量生产的实际情况,详细叙述了衬底片及外延片的质量检验和统计过程控制(SPC),具体阐述了衬底片的表面检验流程及转移规则、外延片的检验流程、判定性检验方法及过程控制。