JEOL JSM-35C型扫描电子显微镜故障及排除

在介绍真空系统联锁控制流程图的基础上 ,选择了粗真空系统抽力变差、进样系统泄漏、真空联锁保护电路误动作、二次电子检测高压电路故障、二次电子检测电路故障、倍率放大器故障和图象放大倍率校正等七个有代表性的、已排除的故障实例进行深入分析研究 。