基于Wi-Fi图像传输技术的微型空间外差光谱仪设计

设计了一种基于空间外差光谱技术微型光谱仪,它可以同时获得高通量以及高光谱分辨率。为了满足微型光谱仪在户外环境下便携性、操作便捷的使用要求,将基于ARM11和Linux系统的单板相机与Android嵌入式系统相结合,通过Wi-Fi图像传输模块将采集的光谱信号传输到手机上,并在手机上直接对光谱数据进行处理。该系统无需电脑的接入,提高了微型光谱仪使用的便捷性。

接近式光刻的角谱法仿真研究

在基于UV-LIGA技术的大高宽比微细结构的加工技术中,接近式紫外光刻工艺会因衍射效应而使掩模图形在复制过程中产生图形失真,从而引起光刻胶结构的形状缺陷。对该衍射光场进行计算机仿真,预测光刻图形误差,可以为误差修正提供理论依据。运用快速傅里叶(FFT)方法对接近式曝光进行角谱计算,研究了FFT相关参数的选择依据和参数范围的确定原则,详细讨论了光刻机的照明机理对参数选择的影响。通过对光刻胶表面和内部的衍射光场分布的仿真计算,表明了该方法既具有好的计算精度,又具有计算速度快的明显优势。给出了与利用瑞利索末菲衍射公式进行的仿真计算的比较,两者的计算精度相差很小,但本方法的计算速度快了几十倍。由此表明,本FFT方法可以为在掩模设计阶段就预修正微结构图形,为获得理想的光刻胶图形的可制造设计(design for manufacture)的工程实用化提供一种可行的途径。