几种MOCVD用挥发性β-二酮类金属螯合物的合成及初步研究

以丙酮为初级原科,逐步合成频那酮。三甲基乙酸,最后合成了β-二铜螯合剂DPM,红外光谱鉴定表明合成是成功的。以β-二酮类螯合剂AA,DPM,TFAA,及FOD与Y,Ba,Cu,Zr等中心原子合成了它们的螯合物。热重分析表明,螯合物的挥发性同配体的空间位阻及F代原子数目有关,配体的空间位阻越大,F代原子数目越多,则螯合物的挥发性越好;同时与中心原子的离子半经密切相关,中心原子的离子半经越小,则螯合物的挥发性越好。此外,对几种螯合物进行了质谱研究,以推测它们在plasma-MOCVD过程中的可能行为。