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PCVD法制备ZrO_2和YSZ薄膜
被引量:
9
1
作者
喻维杰
张裕恒
+2 位作者
彭定坤
孟广耀
曹传宝
《化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1993年第12期1164-1169,共6页
以金属β-二酮类有机螯合物Zr(DPM)_4和Y(DPM)_3为挥发性源物质,采用微波等离子体化学气相淀积法于较低的温度下(420~560℃)成功地在多孔α-Al_2O_3陶瓷、非晶玻璃等衬底上制备出致密的ZrO_2和YSZ薄膜材料。XRD分析结果表明,纯ZrO_2薄...
以金属β-二酮类有机螯合物Zr(DPM)_4和Y(DPM)_3为挥发性源物质,采用微波等离子体化学气相淀积法于较低的温度下(420~560℃)成功地在多孔α-Al_2O_3陶瓷、非晶玻璃等衬底上制备出致密的ZrO_2和YSZ薄膜材料。XRD分析结果表明,纯ZrO_2薄膜中除了单斜相外还存在着亚稳态的四方相。当掺入的Y_2O_3摩尔百分含量大于或等于7%时,ZrO_2完全被稳定成立方相。SEM观察表明,在等离子体内的不同区域中生成的薄膜形貌有所不同。XPS检测了YSZ薄膜中Zr3d_(5/2)和Zr3d_(3/2)的电子结合能,发现较ZrO_2的标准值低0.7eV。由TEM观察和由XRD衍射蜂半宽度计算,所制备的ZrO_2和YSZ薄膜中微晶粒径在10nm左右。
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关键词
PCVD法
氧离子导体
氧化锆
薄膜
下载PDF
职称材料
题名
PCVD法制备ZrO_2和YSZ薄膜
被引量:
9
1
作者
喻维杰
张裕恒
彭定坤
孟广耀
曹传宝
机构
中国科学技术大学结构分析中心开放实验室
中国科学技术大学
材料
科学
与工程系
出处
《化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1993年第12期1164-1169,共6页
基金
国家自然科学基金
文摘
以金属β-二酮类有机螯合物Zr(DPM)_4和Y(DPM)_3为挥发性源物质,采用微波等离子体化学气相淀积法于较低的温度下(420~560℃)成功地在多孔α-Al_2O_3陶瓷、非晶玻璃等衬底上制备出致密的ZrO_2和YSZ薄膜材料。XRD分析结果表明,纯ZrO_2薄膜中除了单斜相外还存在着亚稳态的四方相。当掺入的Y_2O_3摩尔百分含量大于或等于7%时,ZrO_2完全被稳定成立方相。SEM观察表明,在等离子体内的不同区域中生成的薄膜形貌有所不同。XPS检测了YSZ薄膜中Zr3d_(5/2)和Zr3d_(3/2)的电子结合能,发现较ZrO_2的标准值低0.7eV。由TEM观察和由XRD衍射蜂半宽度计算,所制备的ZrO_2和YSZ薄膜中微晶粒径在10nm左右。
关键词
PCVD法
氧离子导体
氧化锆
薄膜
分类号
O614.412 [理学—无机化学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PCVD法制备ZrO_2和YSZ薄膜
喻维杰
张裕恒
彭定坤
孟广耀
曹传宝
《化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1993
9
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职称材料
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