高精度电容式位移传感器关键技术的研究

研制了一种高精度电容式位移传感器，详细介绍了该传感器的基本工作原理和提高传感器精度的关键技术，对电容传感器的具体电路进行模块化设计；分析影响传感器精度与稳定性的因素，采用完全等电位屏蔽技术，对正弦激励电路、参考电容、传感器测头、电源进行技术改进，最后对电容传感器进行系统标定。实验证明：该传感器测量范围为±5-±40μm，测量分辨率〈10nm，测量精度〈20nm．