-
题名导模法和温度梯度法生长r面蓝宝石(英文)
被引量:5
- 1
-
-
作者
杨新波
李红军
徐军
程艳
周国清
-
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 中国科学院研究生院
-
出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期678-682,共5页
-
基金
国家“863”计划(2006AA03A104)
国家自然科学基金(60607015)资助项目
-
文摘
r面(0112)蓝宝石晶体可用作制备非极性GaN薄膜的衬底。采用温度梯度法(temperature gradient technique,TGT)和导模法(edge-defined film-fed crystal growth,EFG)生长了质量良好的r面蓝宝石晶体。利用双晶衍射、光学显微镜、光谱仪观察和分析了晶体的结构和缺陷。结果表明:TGT法生长的r蓝宝石晶体的双晶摇摆曲线对称性好,半高宽值仅为18 rad.s,位错密度为4×103 cm-2,透过率达83%,晶体质量好。与TGT法相比,EFG法生长的r面蓝宝石晶体的结构完整性较差,位错密度为5×105 cm-2,透过率仅为75%。但是EFG法具有晶体生长速度快,后期加工成本低的优点。
-
关键词
温度梯度法
导模法
蓝宝石
位错密度
-
Keywords
temperature gradient technique
edge-defined film-fed crystal growth
sapphire
dislocation density
-
分类号
O782
[理学—晶体学]
-