离子束溅射沉积Co膜光学特性的尺寸效应研究

本文采用离子束溅射沉积了不同厚度的Co膜 ,利用Lambda 90 0分光光度计 ,对不同厚度的Co膜从波长为 310nm到 130 0nm范围测量了薄膜的反射率和透射率。选定波长为 310、35 0、4 0 0、4 30、5 5 0、6 32、80 0、12 0 0nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随薄膜厚度变化的关系进行讨论。实验结果显示 ,Co膜的光学特性都有明显的尺寸效应。对在可见光范围内同一波长时的反射率和透射率随薄膜厚度变化关系的实验结果作于同一图上 ,发现反射率曲线与透射率曲线都有一个处在网状膜阶段的交点 ,这个交点对应的厚度作为特征厚度 。