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微波等离子体化学气相淀积纳米级 ZrO_2薄膜
被引量:
4
1
作者
曹传宝
喻维杰
+1 位作者
彭定坤
孟广耀
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第3期323-328,共6页
以β-二酮螯合物 Zr(DPM)_4为挥发性源,利用微波等离子体化学气相淀积方法成功地在低温(<300℃)下合成了 ZrO_2薄膜,SEM 观测表明薄膜形貌呈细粒结构,其晶粒尺寸为纳米量级.XRD指出,淀积物中除单斜相 ZrO_2外,还存在亚稳态的四方相.X...
以β-二酮螯合物 Zr(DPM)_4为挥发性源,利用微波等离子体化学气相淀积方法成功地在低温(<300℃)下合成了 ZrO_2薄膜,SEM 观测表明薄膜形貌呈细粒结构,其晶粒尺寸为纳米量级.XRD指出,淀积物中除单斜相 ZrO_2外,还存在亚稳态的四方相.XPS 测量了 Zr3d 的电子结合能,发现较之标准 ZrO_2样品低约0.5eV,XPS 定量分析显示薄膜中含有一定量的 C 及过量的 O(?)对其原因以及在不同的淀积条件、薄膜的形成机制等进行了讨论.
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关键词
薄膜
化学气相淀积
氧化锆
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职称材料
芳基重氮盐及其18-冠醚-6络合物的低频红外光谱
2
作者
赵瑶兴
孙祥玉
李前荣
《有机化学》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1992年第2期172-176,共5页
重氮盐与适当的冠醚形成络合物后,可以改变其在有机溶剂中的溶解性,增加化学稳定性,对这类络合物的结构特点和重氮盐与冠醚之间相互作用的本质,引起了研究者的兴趣,探讨这类络合物中络合键的形成和键能大小,无疑是一系列研究中的重要课...
重氮盐与适当的冠醚形成络合物后,可以改变其在有机溶剂中的溶解性,增加化学稳定性,对这类络合物的结构特点和重氮盐与冠醚之间相互作用的本质,引起了研究者的兴趣,探讨这类络合物中络合键的形成和键能大小,无疑是一系列研究中的重要课题,迄今尚未见报道。
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关键词
重氮盐
冠醚络合物
络合谱带
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职称材料
题名
微波等离子体化学气相淀积纳米级 ZrO_2薄膜
被引量:
4
1
作者
曹传宝
喻维杰
彭定坤
孟广耀
机构
中国科技大学
材料
科学
与工程系
中国科学院
中国科技大学
结构
分析
研究
实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第3期323-328,共6页
文摘
以β-二酮螯合物 Zr(DPM)_4为挥发性源,利用微波等离子体化学气相淀积方法成功地在低温(<300℃)下合成了 ZrO_2薄膜,SEM 观测表明薄膜形貌呈细粒结构,其晶粒尺寸为纳米量级.XRD指出,淀积物中除单斜相 ZrO_2外,还存在亚稳态的四方相.XPS 测量了 Zr3d 的电子结合能,发现较之标准 ZrO_2样品低约0.5eV,XPS 定量分析显示薄膜中含有一定量的 C 及过量的 O(?)对其原因以及在不同的淀积条件、薄膜的形成机制等进行了讨论.
关键词
薄膜
化学气相淀积
氧化锆
Keywords
ZrO_2 films
Microwave plasma CVD
分类号
TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
芳基重氮盐及其18-冠醚-6络合物的低频红外光谱
2
作者
赵瑶兴
孙祥玉
李前荣
机构
北京分子动态及稳态
结构
实验室
中国科学院
研究
生院
中国科学院中国科技大学结构研究实验室
出处
《有机化学》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1992年第2期172-176,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
重氮盐与适当的冠醚形成络合物后,可以改变其在有机溶剂中的溶解性,增加化学稳定性,对这类络合物的结构特点和重氮盐与冠醚之间相互作用的本质,引起了研究者的兴趣,探讨这类络合物中络合键的形成和键能大小,无疑是一系列研究中的重要课题,迄今尚未见报道。
关键词
重氮盐
冠醚络合物
络合谱带
Keywords
diazonium-crown conplex
low-frequency IR
complex band
分类号
O625.64 [理学—有机化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微波等离子体化学气相淀积纳米级 ZrO_2薄膜
曹传宝
喻维杰
彭定坤
孟广耀
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992
4
下载PDF
职称材料
2
芳基重氮盐及其18-冠醚-6络合物的低频红外光谱
赵瑶兴
孙祥玉
李前荣
《有机化学》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1992
0
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职称材料
已选择
0
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