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微波等离子体化学气相淀积纳米级 ZrO_2薄膜 被引量:4
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作者 曹传宝 喻维杰 +1 位作者 彭定坤 孟广耀 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期323-328,共6页
以β-二酮螯合物 Zr(DPM)_4为挥发性源,利用微波等离子体化学气相淀积方法成功地在低温(<300℃)下合成了 ZrO_2薄膜,SEM 观测表明薄膜形貌呈细粒结构,其晶粒尺寸为纳米量级.XRD指出,淀积物中除单斜相 ZrO_2外,还存在亚稳态的四方相.X... 以β-二酮螯合物 Zr(DPM)_4为挥发性源,利用微波等离子体化学气相淀积方法成功地在低温(<300℃)下合成了 ZrO_2薄膜,SEM 观测表明薄膜形貌呈细粒结构,其晶粒尺寸为纳米量级.XRD指出,淀积物中除单斜相 ZrO_2外,还存在亚稳态的四方相.XPS 测量了 Zr3d 的电子结合能,发现较之标准 ZrO_2样品低约0.5eV,XPS 定量分析显示薄膜中含有一定量的 C 及过量的 O(?)对其原因以及在不同的淀积条件、薄膜的形成机制等进行了讨论. 展开更多
关键词 薄膜 化学气相淀积 氧化锆
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芳基重氮盐及其18-冠醚-6络合物的低频红外光谱
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作者 赵瑶兴 孙祥玉 李前荣 《有机化学》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1992年第2期172-176,共5页
重氮盐与适当的冠醚形成络合物后,可以改变其在有机溶剂中的溶解性,增加化学稳定性,对这类络合物的结构特点和重氮盐与冠醚之间相互作用的本质,引起了研究者的兴趣,探讨这类络合物中络合键的形成和键能大小,无疑是一系列研究中的重要课... 重氮盐与适当的冠醚形成络合物后,可以改变其在有机溶剂中的溶解性,增加化学稳定性,对这类络合物的结构特点和重氮盐与冠醚之间相互作用的本质,引起了研究者的兴趣,探讨这类络合物中络合键的形成和键能大小,无疑是一系列研究中的重要课题,迄今尚未见报道。 展开更多
关键词 重氮盐 冠醚络合物 络合谱带
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