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红外折/衍混合离轴望远系统设计
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作者 周崇喜 李展 +1 位作者 林大键 杜春雷 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第12期1100-1105,共6页
本文针对空间光学系统轻型特点,设计了一个二元光学折/衍混合红外反射式望远系统。采用了离轴式格里高利(Gregorian)结构形式,消除了望远系统中的中心遮拦问题。用衍射光学元件校正系统象差,使反射面为球面,二元光学表... 本文针对空间光学系统轻型特点,设计了一个二元光学折/衍混合红外反射式望远系统。采用了离轴式格里高利(Gregorian)结构形式,消除了望远系统中的中心遮拦问题。用衍射光学元件校正系统象差,使反射面为球面,二元光学表面尺寸比施密特(Schmidt)校正板(位于入瞳处)缩小于3~4倍,光学设计运用OSLO软件,光学系统的通光孔径φ=120mm,焦距f=-1000mm,波长λ=4.3μm,视场2ω=2°×6°(子午×弧矢),分辨率Res=0.05mm,MTF≥0.4(空间频率fre≤10c1/mm)。 展开更多
关键词 红外 折衍混合 离轴 望远系统
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离轴照明成像研究
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作者 周崇喜 林大键 +2 位作者 冯伯儒 范建兴 崔铮 《微细加工技术》 1996年第2期12-18,共7页
本文阐述了离轴照明提高曝光分辨率和增加焦深的原理,应用Hopkins理论研究了其成像特性。给出了两种离轴照明方式──四极照明和环形照明下的空间像分布,并和传统照明方式下的空间像分布作比较。计算结果说明,采用离轴照明使... 本文阐述了离轴照明提高曝光分辨率和增加焦深的原理,应用Hopkins理论研究了其成像特性。给出了两种离轴照明方式──四极照明和环形照明下的空间像分布,并和传统照明方式下的空间像分布作比较。计算结果说明,采用离轴照明使得曝光分辨率和焦深得到了很大的提高。 展开更多
关键词 曝光 离轴照明 分辨率 焦深 微细加工
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连续微光学元件在光刻胶上的面形控制 被引量:10
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作者 曾红军 杜春雷 +5 位作者 王永茹 白临波 邓启凌 陈波 郭履容 袁景和 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期691-696,共6页
介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。分析了光刻胶及显影液在制作二元和连续元件中所存在的差别 ;导出具有倒易关系的浮雕深度表达式和适用的范围 ,并以此指导面形的控制 ,对光刻胶进行适当的改造以适应连续微光学元件的制... 介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。分析了光刻胶及显影液在制作二元和连续元件中所存在的差别 ;导出具有倒易关系的浮雕深度表达式和适用的范围 ,并以此指导面形的控制 ,对光刻胶进行适当的改造以适应连续微光学元件的制作。本文还给出了实验验证 ,制作出了多种质量优良的连续微光学元件 ,并对典型元件的面形进行了评价。 展开更多
关键词 连续微光学元件 光刻胶线性 面形控制 集成电路
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利用彩色打印机技术制作多位相彩虹全息色编码器
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作者 周崇喜 周宇 +2 位作者 王春红 黄奇忠 郭永康 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期426-428,共3页
提出一种新的集分束/整形于一体的彩虹全息色编码器,该编码器可获得较高的衍射效率和很好的光场均匀性。同时,采用一种集追迹法、G-S算法、Y-G算法为一体的综合迭代算法进行该器件的设计,计算机模拟结果显示其非均匀性小于0... 提出一种新的集分束/整形于一体的彩虹全息色编码器,该编码器可获得较高的衍射效率和很好的光场均匀性。同时,采用一种集追迹法、G-S算法、Y-G算法为一体的综合迭代算法进行该器件的设计,计算机模拟结果显示其非均匀性小于0.01%,衍射效率为93.3%。 展开更多
关键词 彩色打印机 二元光学 迭代算法 全息色编码器
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