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红外折/衍混合离轴望远系统设计
1
作者
周崇喜
李展
+1 位作者
林大键
杜春雷
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第12期1100-1105,共6页
本文针对空间光学系统轻型特点,设计了一个二元光学折/衍混合红外反射式望远系统。采用了离轴式格里高利(Gregorian)结构形式,消除了望远系统中的中心遮拦问题。用衍射光学元件校正系统象差,使反射面为球面,二元光学表...
本文针对空间光学系统轻型特点,设计了一个二元光学折/衍混合红外反射式望远系统。采用了离轴式格里高利(Gregorian)结构形式,消除了望远系统中的中心遮拦问题。用衍射光学元件校正系统象差,使反射面为球面,二元光学表面尺寸比施密特(Schmidt)校正板(位于入瞳处)缩小于3~4倍,光学设计运用OSLO软件,光学系统的通光孔径φ=120mm,焦距f=-1000mm,波长λ=4.3μm,视场2ω=2°×6°(子午×弧矢),分辨率Res=0.05mm,MTF≥0.4(空间频率fre≤10c1/mm)。
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关键词
红外
折衍混合
离轴
望远系统
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职称材料
离轴照明成像研究
2
作者
周崇喜
林大键
+2 位作者
冯伯儒
范建兴
崔铮
《微细加工技术》
1996年第2期12-18,共7页
本文阐述了离轴照明提高曝光分辨率和增加焦深的原理,应用Hopkins理论研究了其成像特性。给出了两种离轴照明方式──四极照明和环形照明下的空间像分布,并和传统照明方式下的空间像分布作比较。计算结果说明,采用离轴照明使...
本文阐述了离轴照明提高曝光分辨率和增加焦深的原理,应用Hopkins理论研究了其成像特性。给出了两种离轴照明方式──四极照明和环形照明下的空间像分布,并和传统照明方式下的空间像分布作比较。计算结果说明,采用离轴照明使得曝光分辨率和焦深得到了很大的提高。
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关键词
曝光
离轴照明
分辨率
焦深
微细加工
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职称材料
连续微光学元件在光刻胶上的面形控制
被引量:
10
3
作者
曾红军
杜春雷
+5 位作者
王永茹
白临波
邓启凌
陈波
郭履容
袁景和
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第5期691-696,共6页
介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。分析了光刻胶及显影液在制作二元和连续元件中所存在的差别 ;导出具有倒易关系的浮雕深度表达式和适用的范围 ,并以此指导面形的控制 ,对光刻胶进行适当的改造以适应连续微光学元件的制...
介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。分析了光刻胶及显影液在制作二元和连续元件中所存在的差别 ;导出具有倒易关系的浮雕深度表达式和适用的范围 ,并以此指导面形的控制 ,对光刻胶进行适当的改造以适应连续微光学元件的制作。本文还给出了实验验证 ,制作出了多种质量优良的连续微光学元件 ,并对典型元件的面形进行了评价。
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关键词
连续微光学元件
光刻胶线性
面形控制
集成电路
原文传递
利用彩色打印机技术制作多位相彩虹全息色编码器
4
作者
周崇喜
周宇
+2 位作者
王春红
黄奇忠
郭永康
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第5期426-428,共3页
提出一种新的集分束/整形于一体的彩虹全息色编码器,该编码器可获得较高的衍射效率和很好的光场均匀性。同时,采用一种集追迹法、G-S算法、Y-G算法为一体的综合迭代算法进行该器件的设计,计算机模拟结果显示其非均匀性小于0...
提出一种新的集分束/整形于一体的彩虹全息色编码器,该编码器可获得较高的衍射效率和很好的光场均匀性。同时,采用一种集追迹法、G-S算法、Y-G算法为一体的综合迭代算法进行该器件的设计,计算机模拟结果显示其非均匀性小于0.01%,衍射效率为93.3%。
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关键词
彩色打印机
二元光学
迭代算法
全息色编码器
原文传递
题名
红外折/衍混合离轴望远系统设计
1
作者
周崇喜
李展
林大键
杜春雷
机构
中国科学院光电所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第12期1100-1105,共6页
文摘
本文针对空间光学系统轻型特点,设计了一个二元光学折/衍混合红外反射式望远系统。采用了离轴式格里高利(Gregorian)结构形式,消除了望远系统中的中心遮拦问题。用衍射光学元件校正系统象差,使反射面为球面,二元光学表面尺寸比施密特(Schmidt)校正板(位于入瞳处)缩小于3~4倍,光学设计运用OSLO软件,光学系统的通光孔径φ=120mm,焦距f=-1000mm,波长λ=4.3μm,视场2ω=2°×6°(子午×弧矢),分辨率Res=0.05mm,MTF≥0.4(空间频率fre≤10c1/mm)。
关键词
红外
折衍混合
离轴
望远系统
Keywords
Infrared
Off-axial
Hybrid Refractive/Diffractive optics
Telescope.
分类号
TN216 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
离轴照明成像研究
2
作者
周崇喜
林大键
冯伯儒
范建兴
崔铮
机构
中国科学院光电所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《微细加工技术》
1996年第2期12-18,共7页
文摘
本文阐述了离轴照明提高曝光分辨率和增加焦深的原理,应用Hopkins理论研究了其成像特性。给出了两种离轴照明方式──四极照明和环形照明下的空间像分布,并和传统照明方式下的空间像分布作比较。计算结果说明,采用离轴照明使得曝光分辨率和焦深得到了很大的提高。
关键词
曝光
离轴照明
分辨率
焦深
微细加工
Keywords
photolithography
off-axis illumintion
resolution
depth of focus
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
连续微光学元件在光刻胶上的面形控制
被引量:
10
3
作者
曾红军
杜春雷
王永茹
白临波
邓启凌
陈波
郭履容
袁景和
机构
中国科学院光电所微细加工光学技术国家重点实验室
四川大学信息
光学
研究中心
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第5期691-696,共6页
基金
国家科委"九五"攻关项目资助
文摘
介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。分析了光刻胶及显影液在制作二元和连续元件中所存在的差别 ;导出具有倒易关系的浮雕深度表达式和适用的范围 ,并以此指导面形的控制 ,对光刻胶进行适当的改造以适应连续微光学元件的制作。本文还给出了实验验证 ,制作出了多种质量优良的连续微光学元件 ,并对典型元件的面形进行了评价。
关键词
连续微光学元件
光刻胶线性
面形控制
集成电路
Keywords
continuous micro- optic element, linear property of photoresist, reciprocal e- quation, profile control
分类号
TN405.98 [电子电信—微电子学与固体电子学]
原文传递
题名
利用彩色打印机技术制作多位相彩虹全息色编码器
4
作者
周崇喜
周宇
王春红
黄奇忠
郭永康
机构
中国科学院光电所微细加工光学技术国家重点实验室
四川大学物理系
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第5期426-428,共3页
基金
四川省科研基金
中国科学院光电所微细加工光学技术国家重点实验室基金
文摘
提出一种新的集分束/整形于一体的彩虹全息色编码器,该编码器可获得较高的衍射效率和很好的光场均匀性。同时,采用一种集追迹法、G-S算法、Y-G算法为一体的综合迭代算法进行该器件的设计,计算机模拟结果显示其非均匀性小于0.01%,衍射效率为93.3%。
关键词
彩色打印机
二元光学
迭代算法
全息色编码器
Keywords
color printer, color encoder, binary optics, iterative algorithm
分类号
TN762 [电子电信—电路与系统]
TP334.8 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
红外折/衍混合离轴望远系统设计
周崇喜
李展
林大键
杜春雷
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1996
0
下载PDF
职称材料
2
离轴照明成像研究
周崇喜
林大键
冯伯儒
范建兴
崔铮
《微细加工技术》
1996
0
下载PDF
职称材料
3
连续微光学元件在光刻胶上的面形控制
曾红军
杜春雷
王永茹
白临波
邓启凌
陈波
郭履容
袁景和
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
10
原文传递
4
利用彩色打印机技术制作多位相彩虹全息色编码器
周崇喜
周宇
王春红
黄奇忠
郭永康
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
0
原文传递
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