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980nm脊型波导激光器腔面非注入区的研究 被引量:8
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作者 刘斌 张敬明 +1 位作者 马骁宇 肖建伟 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期109-111,共3页
报导了质子注入技术在提高980nm半导体激光器可靠性上的应用。p-GaAs材料经过质子注入后获得高的电阻率。在距离腔面25μm的区域内进行质子注入,由此形成腔面附近的电流非注入区。腔面附近非注入区减少了腔面载流子的注入,因此减少了非... 报导了质子注入技术在提高980nm半导体激光器可靠性上的应用。p-GaAs材料经过质子注入后获得高的电阻率。在距离腔面25μm的区域内进行质子注入,由此形成腔面附近的电流非注入区。腔面附近非注入区减少了腔面载流子的注入,因此减少了非辐射复合的发生,提高了激光器的灾变性光学损伤(COD)阈值。应用质子注入形成腔面非注入区的管芯的平均COD阈值功率达到268mW,而应用常规工艺的管芯的平均COD阈值功率为178mW。同常规工艺相比,应用质子注入形成腔面非注入区技术使管芯的COD阈值功率提高了50%。 展开更多
关键词 980nm半导体激光器 可靠性 质子注入 非注入区 COD 灾变性光学损伤阈值 掺饵光纤放大器
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带有腔面非注入区的大功率808nm GaAs/AlGaAs激光二极管列阵 被引量:4
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作者 方高瞻 肖建伟 +4 位作者 马骁宇 谭满清 刘宗顺 刘素平 冯小明 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2000年第12期9-11,共3页
报导了带有腔面非注入区的 80 8nmGaAs/AlGaAs激光二极管列阵的制作过程和测试结果。在器件前后腔面处引入 2 5μm非注入区 ,填充密度为 17%的 1cm激光二极管列阵最高连续输出功率达 87W ,热沉温度是 2 5℃ ,抗COD能力比没有非注入区的... 报导了带有腔面非注入区的 80 8nmGaAs/AlGaAs激光二极管列阵的制作过程和测试结果。在器件前后腔面处引入 2 5μm非注入区 ,填充密度为 17%的 1cm激光二极管列阵最高连续输出功率达 87W ,热沉温度是 2 5℃ ,抗COD能力比没有非注入区的激光二极管列阵高 4 0 %。器件在连续 15W下恒功老化 ,工作寿命超过 50 0 0h。 展开更多
关键词 非注入区 COD GAAS/ALGAAS 激光二级管列阵 腔面 固件激光器
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157W准连续AlGaAs/GaAs激光二极管线列阵 被引量:4
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作者 方高瞻 肖建伟 +7 位作者 马骁宇 谭满清 刘宗顺 刘素平 胡长虹 鲁琳 李秀芳 王梅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期102-104,共3页
通过优化设计量子阱结构和列阵结构,减小腔面光功率密度,避免器件腔面灾变损伤,得到1cm AlGaAs/GaAs 激光二极管线列阵,在热沉温度21℃,脉冲宽度200μs,重复频率100Hz时,输出峰值功率达157W.
关键词 激光二极管 列阵 砷化镓
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MBE生长高光功率转换效率InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器 被引量:3
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作者 徐遵图 杨国文 +5 位作者 徐俊英 张敬明 沈光地 高国 廉鹏 陈良惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期194-199,共6页
本文从理论上分析了实现 In Ga As/Ga As/Al Ga As应变量子阱激光器高光功率转换效率、高输出功率的有效途径 ,并优化了器件结构 ,可以同时获得低的腔面光功率密度和小的垂直于结平面远场发散角 .利用分子束外延生长构成了高质量 In Ga ... 本文从理论上分析了实现 In Ga As/Ga As/Al Ga As应变量子阱激光器高光功率转换效率、高输出功率的有效途径 ,并优化了器件结构 ,可以同时获得低的腔面光功率密度和小的垂直于结平面远场发散角 .利用分子束外延生长构成了高质量 In Ga As/Ga As/Al Ga As应变量子阱激光器 ,其最高光功率转换效率为 53%、最大输出功率为 3.7W,垂直于结平面方向远场发散角为 展开更多
关键词 应变量子阱 激光器 MEB生长 设计
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微机电光开关 被引量:2
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作者 贾玉斌 陈良惠 +2 位作者 李玉璋 叶晓军 康香宁 《光学技术》 CAS CSCD 2002年第1期85-88,共4页
对微机械光开关的特点和应用作了简要的论述 ,并对近年国外几种典型微机械光开关的结构、原理和研制方法作了简要的介绍和评述。这类新型的开关器件的主要优点是串话小 ,插入损耗小 ,消光比高 ,对波长和偏振不敏感 ,且体积小 ,造价低等 。
关键词 微光机电系统 微机械光开关 微反射镜
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准连续5kW叠层激光二极管列阵
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作者 方高瞻 肖建伟 +3 位作者 马骁宇 谭满清 冯小明 潘贵生 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第5期41-44,共4页
报导了 5kWGaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵的制作过程和测试结果。通过金属有机物化学气相沉积方法实现分别限制单量子阱结构。 1cm激光条的填充密度是70 %。采用 80个激光条叠层封装 ,激光条间距是 0 5mm ,功率密度达 1 2 5kW /cm2 ,... 报导了 5kWGaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵的制作过程和测试结果。通过金属有机物化学气相沉积方法实现分别限制单量子阱结构。 1cm激光条的填充密度是70 %。采用 80个激光条叠层封装 ,激光条间距是 0 5mm ,功率密度达 1 2 5kW /cm2 ,峰值波长是 80 9 0nm ,谱线宽度是 4 8nm。 展开更多
关键词 激光二极管列阵 GAAS/ALGAAS 准连续叠层 固体激光器 砷化镓 砷铝镓化合物
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极低阈值脊形波导GaAs/AlGaAs GRIN-SCH SQW激光二极管
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作者 张敬明 陈良惠 +4 位作者 徐俊英 徐遵图 杨国文 吕卉 郭文华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第10期734-740,共7页
本文报道,极低阈值电流脊形波导~0.85μmGaAs/AsGaAsGRIN-SCHSQW激光二极管优化设计、器件制备和特性.获得了2.2~4mA的极低阈值电流和~0.6mW/mA的微分量子效率.70℃,3mW恒功率寿命试验,推测器件平均工作寿命大于4万小时.
关键词 激光二极管 波导 阈值 半导体激光器
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Investigation of 980nm Ridge Waveguide Lasers with Current Non-Injection Regions by He Ion Implantaion 被引量:2
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作者 刘斌 张敬明 +1 位作者 马骁宇 肖建伟 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期234-237,共4页
The technology of He ion implantation for improving the catastrophic optical damage (COD) level of 980nm semiconductor lasers is introduced.After He ion implantation,p-GaAs obtain higher resistivity than before.About... The technology of He ion implantation for improving the catastrophic optical damage (COD) level of 980nm semiconductor lasers is introduced.After He ion implantation,p-GaAs obtain higher resistivity than before.About 25μm-long current non-injection regions are introduced near both facets,where the injection current is blocked by high resistivity area.The current non-injection regions can reduce carriers inject to facets,and the rate of the non-radiative recombination are reduced.So the COD level is higher than before.The He ion implantation LDs exhibit no COD failure until the rollover occure at a mean maximum power of 440.5mW.Mean COD level of conventional LDs is given as 407.5mW.Compared to conventional LDs,the mean maximum output power level of He ion implantation LDs is improved by 8%. 展开更多
关键词 nm semiconductor lasers reliability He ion implantation non-injection regions COD
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Analysis and Design for a Micro Mechanical Optical Switch 被引量:1
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作者 贾玉斌 陈良惠 李玉璋 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期837-840,共4页
The mechanical and electric characteristics of a cantilever beam micro opto mechanical switch are studied theoretically,with which the dependence of the flexion on the applied voltage is derived,as well as the form... The mechanical and electric characteristics of a cantilever beam micro opto mechanical switch are studied theoretically,with which the dependence of the flexion on the applied voltage is derived,as well as the formula of the threshold voltage.The applied voltage,having no connection with the width of the beam,is in inverse proportion to the square of the beam's length.The deflection at the beam's tip cannot exceed 1/3 of the distance between two adjacent electrodes.These results are the basis of the switch design and development. 展开更多
关键词 MEMS optical switch cantilever beam threshold voltage
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Protel 99SE电路仿真 被引量:3
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作者 梁恩主 《计算机自动测量与控制》 CSCD 2000年第5期59-60,共2页
电路仿真可提高电路设计效率和降低成本。文章从实际应用的角度出发 ,全面介绍了Protel 99SE电路仿真功能 ,旨在让更多的电子设计工程师了解和掌握此电路分析设计工具 ,并令其在电子设计过程中发挥作用。
关键词 EDA PROTEL99SE 电路仿真 仿真引擎 PCB
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准连续17kW808nm GaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵 被引量:9
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作者 方高瞻 马骁宇 +2 位作者 王国宏 谭满清 蓝永生 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期649-653,共5页
高功率激光二极管列阵广泛应用于抽运固体激光器。报道了 17kWGaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵的设计、制作过程和测试结果。为了提高器件的输出功率 ,一方面采用宽波导量子阱外延结构 ,降低腔面光功率密度 ,提高单个激光条的输出功率 ,... 高功率激光二极管列阵广泛应用于抽运固体激光器。报道了 17kWGaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵的设计、制作过程和测试结果。为了提高器件的输出功率 ,一方面采用宽波导量子阱外延结构 ,降低腔面光功率密度 ,提高单个激光条的输出功率 ,通过金属有机物化学气相沉积 (MOCVD)方法进行材料生长 ,经过光刻、金属化、镀膜等工艺制备 1cm激光条 ,填充密度为 80 % ,单个激光条输出功率达 10 0W以上 ;另一方面器件采用高密度叠层封装结构 ,提高器件的总输出功率 ,实现了 16 0个激光条叠层封装 ,条间距 0 5mm。经测试 ,器件输出功率达 17kW ,峰值波长为 80 7 6nm ,谱线宽度为 4 9nm。 展开更多
关键词 激光技术 激光二极管列阵 叠层 GAAS/ALGAAS
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