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氮化钼基硬质涂层研究进展
被引量:
3
1
作者
张国光
李春
+2 位作者
方前锋
刘庆
杨俊峰
《航空制造技术》
2009年第22期83-85,91,共4页
利用直流反应磁控溅射技术,使用Mo与C、Si、Al、W的复合靶,在不锈钢和硅(100)衬底上分别制备了MoCN、MoSiN、MoAlN、MoWN涂层。利用XRD、XPS、SEM、HRTEM方法分析了薄膜的微观结构利用纳米压痕技术和热重分析法测试了薄膜的硬度和抗氧...
利用直流反应磁控溅射技术,使用Mo与C、Si、Al、W的复合靶,在不锈钢和硅(100)衬底上分别制备了MoCN、MoSiN、MoAlN、MoWN涂层。利用XRD、XPS、SEM、HRTEM方法分析了薄膜的微观结构利用纳米压痕技术和热重分析法测试了薄膜的硬度和抗氧化性能。研究结果表明,通过纳米复合化和固溶强化,可以大幅度提高MoN基硬质薄膜的硬度和抗氧化温度,说明MoN基硬质涂层具有较好的综合性能,可望在航空工业中得到广泛应用。
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关键词
磁控溅射
氮化钼
硬质薄膜
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职称材料
题名
氮化钼基硬质涂层研究进展
被引量:
3
1
作者
张国光
李春
方前锋
刘庆
杨俊峰
机构
南昌航空大学材料
科学
与工程
学院
中国科学院固体物理研究所内耗与固体缺陷研究室
出处
《航空制造技术》
2009年第22期83-85,91,共4页
基金
航空科学基金(20071656004)资助
文摘
利用直流反应磁控溅射技术,使用Mo与C、Si、Al、W的复合靶,在不锈钢和硅(100)衬底上分别制备了MoCN、MoSiN、MoAlN、MoWN涂层。利用XRD、XPS、SEM、HRTEM方法分析了薄膜的微观结构利用纳米压痕技术和热重分析法测试了薄膜的硬度和抗氧化性能。研究结果表明,通过纳米复合化和固溶强化,可以大幅度提高MoN基硬质薄膜的硬度和抗氧化温度,说明MoN基硬质涂层具有较好的综合性能,可望在航空工业中得到广泛应用。
关键词
磁控溅射
氮化钼
硬质薄膜
Keywords
Magnetron sputtering Molybdenum nitride Hard film
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮化钼基硬质涂层研究进展
张国光
李春
方前锋
刘庆
杨俊峰
《航空制造技术》
2009
3
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