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一微米整体套准技术（OGRT）：一种高精度接近／接触曝光新系统
1
《科技开发动态》
1996年第4期13-15,共3页
关键词
微电子技术
OGRT
接触曝光系统
接触法光刻
原文传递
题名
一微米整体套准技术（OGRT）：一种高精度接近／接触曝光新系统
1
机构
中国科学院微电子中心整机开发组
出处
《科技开发动态》
1996年第4期13-15,共3页
关键词
微电子技术
OGRT
接触曝光系统
接触法光刻
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
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1
一微米整体套准技术（OGRT）：一种高精度接近／接触曝光新系统
《科技开发动态》
1996
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