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等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究
被引量:
4
1
作者
万军
饶志鹏
+3 位作者
方攸同
陈波
李超波
夏洋
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期192-196,共5页
介绍了自行设计的等离子体增强原子层沉积(PEALD)系统及其原位制备氮掺杂纳米TiO2可见光催化剂的实验结果。PEALD系统主要由远程脉冲感应耦合等离子体发生器、真空反应腔室、真空系统、前驱体输运系统、控制系统等部分组成。沉积过程中...
介绍了自行设计的等离子体增强原子层沉积(PEALD)系统及其原位制备氮掺杂纳米TiO2可见光催化剂的实验结果。PEALD系统主要由远程脉冲感应耦合等离子体发生器、真空反应腔室、真空系统、前驱体输运系统、控制系统等部分组成。沉积过程中前驱体的交替、等离子体的产生、样品台温度、载气流量、沉积周期等参数都可以预先设定并由控制系统自动执行。在研制的PEALD系统上首次开展原位氮掺杂纳米TiO2光催化剂的制备,高分辨透射电镜结果表明制备的氮掺杂TiO2薄膜为非晶态结构,薄膜厚度为3 nm,生长速率为0.05 nm/cycle;X射线光电子能谱结果表明N元素掺入到了制备的TiO2薄膜,并取代了TiO2薄膜中的O元素;紫外-可见光谱表明制备的氮掺杂TiO2薄膜对可见光的吸收率明显增强。
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关键词
等离子体增强原子层沉积
原位掺杂
氮掺杂TiO2
结构表征
下载PDF
职称材料
题名
等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究
被引量:
4
1
作者
万军
饶志鹏
方攸同
陈波
李超波
夏洋
机构
浙江大学电气工程
学院
中国科学院微电子研究所微电子集成电路重点实验室
嘉兴科民
电子
设备技术有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期192-196,共5页
基金
极大规模集成电路制造装备及成套工艺项目(2009ZX02039)
中国科学院科研装备研制项目(YZ200755)
+1 种基金
中国博士后基金资助项目(2011M500996)
中国博士后基金特别资助项目(2012T50513)
文摘
介绍了自行设计的等离子体增强原子层沉积(PEALD)系统及其原位制备氮掺杂纳米TiO2可见光催化剂的实验结果。PEALD系统主要由远程脉冲感应耦合等离子体发生器、真空反应腔室、真空系统、前驱体输运系统、控制系统等部分组成。沉积过程中前驱体的交替、等离子体的产生、样品台温度、载气流量、沉积周期等参数都可以预先设定并由控制系统自动执行。在研制的PEALD系统上首次开展原位氮掺杂纳米TiO2光催化剂的制备,高分辨透射电镜结果表明制备的氮掺杂TiO2薄膜为非晶态结构,薄膜厚度为3 nm,生长速率为0.05 nm/cycle;X射线光电子能谱结果表明N元素掺入到了制备的TiO2薄膜,并取代了TiO2薄膜中的O元素;紫外-可见光谱表明制备的氮掺杂TiO2薄膜对可见光的吸收率明显增强。
关键词
等离子体增强原子层沉积
原位掺杂
氮掺杂TiO2
结构表征
Keywords
Plasma enhanced atomic layer deposition, In-situ doping, N-doped Ti02, Structure characterization
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究
万军
饶志鹏
方攸同
陈波
李超波
夏洋
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
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职称材料
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