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非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化(英文)
被引量:
2
1
作者
张强
刘瑞文
+6 位作者
吕文龙
侯影
魏德波
刘超
薛惠琼
傅剑宇
王玮冰
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第9期617-624,共8页
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列(IRFPA)的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数(VTC)对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结...
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列(IRFPA)的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数(VTC)对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结结面积是两项重要因素。因此,设计出6个串联"阱"形pn结的二极管结构,并对具有该结构的热敏二极管型红外焦平面阵列进行了流片。测试结果表明,在10μA正向偏置电流下,二极管结构的电压温度系数为8.2 mV/K,单个像素的灵敏度为19.1μV/K。不同结面积结构的测试结果表明,增加结面积能有效提升二极管结构的电压温度系数和灵敏度。
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关键词
电压温度系数(VTC)
PN结二极管
红外焦平面阵列(IRFPA)
灵敏度
微电子机械系统(MEMS)
下载PDF
职称材料
题名
非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化(英文)
被引量:
2
1
作者
张强
刘瑞文
吕文龙
侯影
魏德波
刘超
薛惠琼
傅剑宇
王玮冰
机构
中国科学院微电子研究所智能感知研究发展中心
中国科学院
物联网
研究
发展中心
中国科学院
大学
昆山光
微电子
有限公司
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第9期617-624,共8页
基金
National Natural Science Foundation of China(61601455,61335008)
National High-Tech R&D Program of China(863 Program)(2015AA042605)
Leading Cooperation Team Between Chinese Academy of Science and Peking University(XMXX201200019933)
文摘
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列(IRFPA)的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数(VTC)对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结结面积是两项重要因素。因此,设计出6个串联"阱"形pn结的二极管结构,并对具有该结构的热敏二极管型红外焦平面阵列进行了流片。测试结果表明,在10μA正向偏置电流下,二极管结构的电压温度系数为8.2 mV/K,单个像素的灵敏度为19.1μV/K。不同结面积结构的测试结果表明,增加结面积能有效提升二极管结构的电压温度系数和灵敏度。
关键词
电压温度系数(VTC)
PN结二极管
红外焦平面阵列(IRFPA)
灵敏度
微电子机械系统(MEMS)
Keywords
voltage temperature coefficient (VTC)
pn junction diode
infrared focal plane array(IRFPA)
sensitivity
micro-electromechanical system (MEMS)
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化(英文)
张强
刘瑞文
吕文龙
侯影
魏德波
刘超
薛惠琼
傅剑宇
王玮冰
《微纳电子技术》
北大核心
2018
2
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