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国内首台化学束外延(CBE)系统的设计考虑及外延结果
1
作者 孙殿照 孔梅影 +13 位作者 韩汝水 朱世荣 阎春辉 国红熙 付首清 周增圻 张晓秋 黄运衡 谢琪 刘世闯 雷震林 张利强 余文斌 乔金梁 《半导体情报》 1991年第6期79-80,共2页
研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。
关键词 化学束外延 设备 半导材料 设计
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金属有机源分子束外延设备的研制
2
作者 谢琪 刘世闯 +8 位作者 雷震霖 张利强 余文斌 乔金梁 孔梅影 孙殿照 韩汝水 朱世莱 阎春辉 《半导体情报》 1991年第6期80-82,共3页
本文报道了金属有机源分子束外廷设备的设计方案和技术特点。该设备最大样品尺寸为3英寸,3室结构,空气闭锁换样,6条气路。
关键词 金属 有机化合物 分子束外延 设备
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CBE设备的控制系统
3
作者 韩汝水 付首清 +1 位作者 张利强 余文斌 《半导体情报》 1991年第6期82-84,共3页
化学束外延(CBE)是半导体超薄层材料生长技术的最新发展,它兼有MBE和MOCVD两者的优点。我们研制出了CBE设备。本文给出了CBE设备的控制系统的硬、软件设计。
关键词 化学束外延 设备 控制 硬件 软件
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