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分子束外延生长InAsSb材料的组分控制(英文) 被引量:1
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作者 孙庆灵 王禄 +6 位作者 姚官生 曹先存 王文奇 孙令 王文新 贾海强 陈弘 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期386-388,共3页
采用分子束外延方法在GaAs和GaSb衬底上生长了一系列InAsSb薄膜,研究了Sb组分与Sb4束流间关系.实验发现,在分子束外延生长中,相比As原子,Sb原子更易并入晶格中.利用该特性可较好实现InAsSb材料的组分控制.
关键词 分子束外延(MBE) 铟砷锑 组分控制
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