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氧化镓异质集成和异质结功率晶体管研究进展
被引量:
2
1
作者
韩根全
王轶博
+7 位作者
徐文慧
巩贺贺
游天桂
郝景刚
欧欣
叶建东
张荣
郝跃
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第14期1741-1752,共12页
超宽禁带氧化镓(Ga_(2)O_(3))半导体具有临界击穿场强高和可实现大尺寸单晶衬底等优势,在功率电子和微波射频器件方面具有重要的研究价值和广阔的应用前景.尽管Ga_(2)O_(3)材料与器件研究已取得很大进展,但其极低的热导系数和缺少有效的...
超宽禁带氧化镓(Ga_(2)O_(3))半导体具有临界击穿场强高和可实现大尺寸单晶衬底等优势,在功率电子和微波射频器件方面具有重要的研究价值和广阔的应用前景.尽管Ga_(2)O_(3)材料与器件研究已取得很大进展,但其极低的热导系数和缺少有效的p型掺杂方法成为限制其复杂器件结构制备和器件性能提升的主要瓶颈.针对上述两大关键瓶颈,本文综述了利用异质材料集成的方法实现高导热衬底Ga_(2)O_(3)异质集成晶体管与基于p型氧化镍/n型氧化镓(p-NiO/n-Ga_(2)O_(3))异质结的Ga_(2)O_(3)功率二极管和超结晶体管的研究进展.采用离子刀智能剥离-键合技术实现的高导热衬底Ga_(2)O_(3)异质集成方案可有效解决其导热问题,碳化硅(SiC)和硅(Si)基Ga_(2)O_(3)异质集成晶体管展现出远优于Ga_(2)O_(3)体材料器件的热相关特性.采用异质外延技术制备的p-NiO/n-Ga_(2)O_(3)功率二极管和超结晶体管均展现出良好的电学特性,p-NiO/n-Ga_(2)O_(3)异质结为Ga_(2)O_(3)双极器件的发展提供了一种可行途径.异质集成和异质结技术可有效地克服Ga_(2)O_(3)本身的关键难点问题,助力高效能、高功率和商业可扩展的Ga_(2)O_(3)微电子系统的实现,推动其实用化进程.
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关键词
氧化镓
晶体管
异质集成
氧化镍
异质结
超结
原文传递
高温X射线衍射法鉴别珍珠粉及贝壳粉
被引量:
3
2
作者
邱永鑫
廖杰
《理化检验(化学分册)》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期294-297,共4页
用高温X射线衍射法(XRD)研究了珍珠粉及贝壳粉中碳酸钙的相变过程。结果表明:随着试验温度的升高,上述2种样品均发生文石型向方解石型的相变,但相变程序不同;当温度从室温升至330℃,贝壳粉中方解石的质量分数由0.5%增至25.5%,而珍珠粉...
用高温X射线衍射法(XRD)研究了珍珠粉及贝壳粉中碳酸钙的相变过程。结果表明:随着试验温度的升高,上述2种样品均发生文石型向方解石型的相变,但相变程序不同;当温度从室温升至330℃,贝壳粉中方解石的质量分数由0.5%增至25.5%,而珍珠粉中方解石的质量分数则由5.0%增至8.1%。根据测定温度条件试验并综合考虑其它因素选择测定温度为330℃。试验了珍珠粉和贝壳粉混合样品中碳酸钙的上述2种晶体的相变情况,结果发现:样品中方解石的含量与其混入的贝壳粉含量呈线性关系,表明两者的混合并不影响其相变机制。在相同试验温度条件下,珍珠粉的相变程度明显低于贝壳粉。利用这一现象,可以用高温XRD快速而准确地对珍珠粉和贝壳粉进行鉴别。
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关键词
高温X射线衍射法
珍珠粉
贝壳粉
鉴别
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职称材料
结构相变中晶体学群论问题的讨论
被引量:
2
3
作者
张锦平
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第5期567-576,共10页
结构变化是相变的基本特征,而晶体学与群论是描述结构的语言。本文从晶体学群论入手,在概述了固体位移型相变的母群-子群关系的基础上,着重介绍了电子束诱导的扩散性相变^([1-2])中倒置的母群-子群关系,并从实验结果的分析得到一选择定...
结构变化是相变的基本特征,而晶体学与群论是描述结构的语言。本文从晶体学群论入手,在概述了固体位移型相变的母群-子群关系的基础上,着重介绍了电子束诱导的扩散性相变^([1-2])中倒置的母群-子群关系,并从实验结果的分析得到一选择定则,对研究材料的辐照效应有着指导性作用。最后又讨论了在表面重构的过程中应用平面群的母群-子群关系分析的群论方法与实例。
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关键词
相变
母群-子群
电子跃迁
晶体学
平面群
辐照效应
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职称材料
题名
氧化镓异质集成和异质结功率晶体管研究进展
被引量:
2
1
作者
韩根全
王轶博
徐文慧
巩贺贺
游天桂
郝景刚
欧欣
叶建东
张荣
郝跃
机构
西安电子科技大学微电子
学院
中国科学院
苏州
纳米技术
与纳米
仿生
研究所
测试
分析
平台
中国科学院
上海微系统与信息
技术
研究所
南京大学电子
科学
与工程
学院
江苏第三代半导体
研究
院
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第14期1741-1752,共12页
基金
国家自然科学基金(62293520,62293521,62293522,62204255,62234007)资助。
文摘
超宽禁带氧化镓(Ga_(2)O_(3))半导体具有临界击穿场强高和可实现大尺寸单晶衬底等优势,在功率电子和微波射频器件方面具有重要的研究价值和广阔的应用前景.尽管Ga_(2)O_(3)材料与器件研究已取得很大进展,但其极低的热导系数和缺少有效的p型掺杂方法成为限制其复杂器件结构制备和器件性能提升的主要瓶颈.针对上述两大关键瓶颈,本文综述了利用异质材料集成的方法实现高导热衬底Ga_(2)O_(3)异质集成晶体管与基于p型氧化镍/n型氧化镓(p-NiO/n-Ga_(2)O_(3))异质结的Ga_(2)O_(3)功率二极管和超结晶体管的研究进展.采用离子刀智能剥离-键合技术实现的高导热衬底Ga_(2)O_(3)异质集成方案可有效解决其导热问题,碳化硅(SiC)和硅(Si)基Ga_(2)O_(3)异质集成晶体管展现出远优于Ga_(2)O_(3)体材料器件的热相关特性.采用异质外延技术制备的p-NiO/n-Ga_(2)O_(3)功率二极管和超结晶体管均展现出良好的电学特性,p-NiO/n-Ga_(2)O_(3)异质结为Ga_(2)O_(3)双极器件的发展提供了一种可行途径.异质集成和异质结技术可有效地克服Ga_(2)O_(3)本身的关键难点问题,助力高效能、高功率和商业可扩展的Ga_(2)O_(3)微电子系统的实现,推动其实用化进程.
关键词
氧化镓
晶体管
异质集成
氧化镍
异质结
超结
Keywords
gallium oxide
transistor
heterogeneous integration
nickel oxide
heterojunction
superjunction
分类号
TN32 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
高温X射线衍射法鉴别珍珠粉及贝壳粉
被引量:
3
2
作者
邱永鑫
廖杰
机构
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所测试平台
浙江长生鸟珍珠生物科技有限公司
出处
《理化检验(化学分册)》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期294-297,共4页
文摘
用高温X射线衍射法(XRD)研究了珍珠粉及贝壳粉中碳酸钙的相变过程。结果表明:随着试验温度的升高,上述2种样品均发生文石型向方解石型的相变,但相变程序不同;当温度从室温升至330℃,贝壳粉中方解石的质量分数由0.5%增至25.5%,而珍珠粉中方解石的质量分数则由5.0%增至8.1%。根据测定温度条件试验并综合考虑其它因素选择测定温度为330℃。试验了珍珠粉和贝壳粉混合样品中碳酸钙的上述2种晶体的相变情况,结果发现:样品中方解石的含量与其混入的贝壳粉含量呈线性关系,表明两者的混合并不影响其相变机制。在相同试验温度条件下,珍珠粉的相变程度明显低于贝壳粉。利用这一现象,可以用高温XRD快速而准确地对珍珠粉和贝壳粉进行鉴别。
关键词
高温X射线衍射法
珍珠粉
贝壳粉
鉴别
Keywords
High-temperature XRD
Pearl powder
Conch powder
Discrimination
分类号
O657.34 [理学—分析化学]
R284.1 [医药卫生—中药学]
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职称材料
题名
结构相变中晶体学群论问题的讨论
被引量:
2
3
作者
张锦平
机构
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所测试平台
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第5期567-576,共10页
基金
科技部国际交流重点项目资助(No.2016YFE0105700)。
文摘
结构变化是相变的基本特征,而晶体学与群论是描述结构的语言。本文从晶体学群论入手,在概述了固体位移型相变的母群-子群关系的基础上,着重介绍了电子束诱导的扩散性相变^([1-2])中倒置的母群-子群关系,并从实验结果的分析得到一选择定则,对研究材料的辐照效应有着指导性作用。最后又讨论了在表面重构的过程中应用平面群的母群-子群关系分析的群论方法与实例。
关键词
相变
母群-子群
电子跃迁
晶体学
平面群
辐照效应
Keywords
phase transformation
group-subgroup relationship
electron transition
crystallography
planar group
irradiation effect
分类号
O71 [理学—晶体学]
O76 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧化镓异质集成和异质结功率晶体管研究进展
韩根全
王轶博
徐文慧
巩贺贺
游天桂
郝景刚
欧欣
叶建东
张荣
郝跃
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
2
原文传递
2
高温X射线衍射法鉴别珍珠粉及贝壳粉
邱永鑫
廖杰
《理化检验(化学分册)》
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
下载PDF
职称材料
3
结构相变中晶体学群论问题的讨论
张锦平
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020
2
下载PDF
职称材料
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