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用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜
被引量:
1
1
作者
刘震
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第7期1298-1302,共5页
Fe-IX/X(λ=17.1nm)和He-II(λ=30.4nm)是太阳辐射的两条重要谱线,极紫外(EUV)空间太阳望远镜通常选择这两条谱线对日冕进行观测。为了实现在同一块反射镜对上述两条谱线同时具有较高的反射率,设计了多层膜膜系结构。首先根据极紫外波...
Fe-IX/X(λ=17.1nm)和He-II(λ=30.4nm)是太阳辐射的两条重要谱线,极紫外(EUV)空间太阳望远镜通常选择这两条谱线对日冕进行观测。为了实现在同一块反射镜对上述两条谱线同时具有较高的反射率,设计了多层膜膜系结构。首先根据极紫外波段选材原则选择了Si、B4C和Mo 3种材料,构成B4C/Si和Mo/Si叠加的两种周期结构,优化其周期数、膜层厚度等,计算了反射率曲线,并从理论验证了其可行性;然后利用磁控溅射镀膜机,在Si片上镀制了多层膜;最后用激光等离子体反射率计检测了样片的反射率,结果显示,在波长17.1nm和30.4nm处的反射率分别达到19.9%和20.2%。通过选择不同滤光片,如Mg、Al/Zr滤光片,可以获得17.1nm或30.4nm单一谱线的反射,实现了设计目标。
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关键词
极紫外(EUV)
双波段多层膜
太阳望远镜
反射率
磁控溅射
原文传递
题名
用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜
被引量:
1
1
作者
刘震
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、光学系统先进制造技术重点实验室
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第7期1298-1302,共5页
基金
国家自然科学基金(60478035)资助项目
文摘
Fe-IX/X(λ=17.1nm)和He-II(λ=30.4nm)是太阳辐射的两条重要谱线,极紫外(EUV)空间太阳望远镜通常选择这两条谱线对日冕进行观测。为了实现在同一块反射镜对上述两条谱线同时具有较高的反射率,设计了多层膜膜系结构。首先根据极紫外波段选材原则选择了Si、B4C和Mo 3种材料,构成B4C/Si和Mo/Si叠加的两种周期结构,优化其周期数、膜层厚度等,计算了反射率曲线,并从理论验证了其可行性;然后利用磁控溅射镀膜机,在Si片上镀制了多层膜;最后用激光等离子体反射率计检测了样片的反射率,结果显示,在波长17.1nm和30.4nm处的反射率分别达到19.9%和20.2%。通过选择不同滤光片,如Mg、Al/Zr滤光片,可以获得17.1nm或30.4nm单一谱线的反射,实现了设计目标。
关键词
极紫外(EUV)
双波段多层膜
太阳望远镜
反射率
磁控溅射
Keywords
extreme ultraviolet (EUV)
two-band multilayer
solar telescope
reflectivity
magnetronsputtering
分类号
O434.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜
刘震
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
原文传递
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