“角度基准”中系统误差的修正杨进堂(中国科学院长春光学精密机械研究所

“圆光栅用于角度基准的研究”（角度基准）为国家提供了一台光、机、电、计算机相结合的仪器，它加工装调精细，又采用了许多高新技术，为高精度测角奠定了坚实基础。使用计算机误差修正技术，又进一步提高了仪器的测角精度。本文在分析了分度基准和细分器产生系统误差的根源之后。

微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究

微型机械运动参数的测试是微型机械研究工作的基础。本文介绍微型机械运动参数测试仪的工作原理和关键技术，并对仪器的精度进行了分析。

需要大力发展机械科学研究

我国机械工业面临着“吃不饱”和“吃不了”的问题。现有八个机械工业部,摊子很大,但能力并没有充分发挥。其原因主要是技术水平上不去,基础不牢固。机械产品的使用价值很差,在国际市场上没有竞争能力。在文化大革命期间,不论在科学院、高等院校和产业部门的机械科学研究机构被破坏得都很严重。打倒“四人帮”以后,虽然做了一些恢复工作,但是进展还是很慢的,完全不能适应目前形势发展的需要。

准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究

准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着十分广泛的应用前景，用该技术制作的聚合物微结构深宽比大、精度高，并且工艺简单。我们分析了准分子激光刻蚀原理，探索了这种技术的工艺方法和技术条件，特别对掩膜的结构和制作工艺进行了较为深入的研究。本文采用简易的实验装置，用自行研制的三种结构掩膜进行了准分子激光刻蚀实验，得到了５０μｍ 深的聚合物材料微机械构件。

微型机械研究的现状及展望

微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。

大视场光电测量系统的精密几何标定和畸变校正的研究

本文研究在大机场精密光电测量系统中最为关键的测量精度问题。深入地讨论了这种大视场光电测量系统的高精度几何标定方法，重点探讨了利用计算机通过解析方法补偿光学系统几何畸变的途径，以期达到在光学系统精度较低的情况下测量系统也可以进行高精度测量的目的。为了达到上述目的，主要研究了以下几个问题：分析了摄影测量的基本原理，提出相机标定和畸变校正问题；建立适合于相机标定和畸变校正的数学模型；研究了对相机进行精密标定的方法和手段；研究了标定数据的分析处理方法；进行计算机仿真实验，分析实验结果。

微机械中超声微电机的研究

作为微机械的动力源，超声微电机具有诸多优良性能，一直是微机械研究的热点技术之一。首先，本文类比了几种微机械意义上的微电机，指出了超声微电机的独特优点，提出了研究超声微电机的重大意义。接着，作者运用粗糙度理论，对广义瑞利波理论进行修正，得出超声微电机较精确的转速数学模型。最后，作者指出超声微电机进一步实用化后的广阔应用前景。

压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究

以压电陶瓷微位移原理为基础，对精密驱动技术在精密定位工件台上的应用作了实验研究。一个是对工件台的微动台进行驱动，另一个是对导轨直线进行误差补偿。设计了一个包括高压精密可调电源、压电微位移驱动器、作为反馈元件的光栅干涉仪。

舰载精密光学系统扰动速度的自稳定控制

介绍了具有惯性导航系统的大型舰艇上前馈控制的自稳定方法。分析船摇产生扰动速度，给出因船摇在方位和俯仰方向产生的附加速度及试验结果；并与速率陀螺自稳定方法进行了对比。

混沌光学系统之快速神经网络自适应控制研究

提出一种用于光动力学系统控制之快速神经网络自适应控制技术。该技术以一前向神经网络作为光动力学系统之系统辨识器，由其与光动力学系统之输出差值对系统控制参数进行调整以达到控制目的，由于神经网络系统辨识器在混沌加速ＢＰ算法的支持下可从光动力学系统输出时间序列进行快速动力学模型重构，因而此控制技术特别适用于对未知动力学表述的光动力学系统进行快速控制。

双维精密定位工件台数控系统的研究

Ｘ－Ｙ两维精密定位工件台是以光栅干涉仪为位置检测元件的精密定位系统，其数控系统是以８０３１单片机作为位置控制的闭环系统。本文在对系统深入分析的基础上，设计了数控系统的硬件，用ＴｕｒｂｏＣ、８０８８汇编语言及Ｍｃｓ５１汇编语言编制了相应的软件，采用细分方法提高了系统的分辨率，并对如何提高系统精度做了详细的讨论。结果表明。

典型光学系统总体研究及结构分析

较系统地研究了各典型系统的光学总体问题，详细分析了光学通道中各个环节的能量及信息的传递特性。采用并推导了作者认为较合理的公式及计算方法，编制了确定光学系统总体参数的软件，同时探讨了光学系统组元间的最佳匹配问题。

基于微机械工艺的平面微电机的研究

为提高微电机的输出力矩,增加微电机散热能力和电流密度,提高电机工作效率,设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转子对称分布于定子两侧。转子采用永磁体进行轴向充磁。定子为平面线圈,是采用硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的。线圈之间则采用了三相星形连接方式,线圈结构为平面型、无槽、集中绕组。把制作好的定子和转子装配后通以三相方波电流进行驱动,通过对其输出力矩和转速的测试证明电机运转良好。

修正精密仪器总误差方法的研究

本文以误差理论为基础，结合时间序列分析法，建立起包括系统误差和随机误差的精密以器总误差数学模型，用此模型对仪器总误差进行实时修正。实践表明，该方法可大大提高仪器的原有准确度。

薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文)

应用光刻和薄膜沉积技术，制作了多级衍射光学元件。对制作误差和影响误差的因素进行了分析。给出了改善对准误差的标校方法，并在实际的多级衍射光学元件制作过程中得到验证。

柱面图形光学刻划的研究

柱面涂胶问题、刻划间隙的选取及新型光刻掩模板的研制是柱面图形光学刻划需解决的三大关键问题，本文以这三个问题为中心详细讨论了在圆柱面上光刻图形的方法。

1994-2006中国学术期刊关于自主创新研究的载文分析

2006年1月10日,胡锦涛总书记在全国科学技术大会上做了题为<坚持走中国特色自主创新道路,为建设创新型国家而努力奋斗>的重要讲话.基于此,深入研究如何提高中国的自主创新能力问题,已经成为关系国家繁荣和民族振兴的重大课题.本文用'自主创新'作为'主题、篇名和关键词:',在精确匹配条件下对清华中国期刊全文数据库进行了查询,共得到了2779条查询结果.列出了1994年以来167份核心期刊上发表的459篇自主创新论文的定量数据,对自主创新研究论文的时间、空间和著者等文献特征进行了归纳和总结,在此基础上提出了笔者的基本观点.

军用光学仪器环境适应性设计 CAD/CAE 应用方法的研究

探讨了在军用光学仪器研制过程中，采用计算机模拟的形式，利用ＣＡＤ／ＣＡＥ技术，进行性能指标和环境适应性指标优化设计的方法；讨论了该方法在军用光学仪器生产、研制中所起的作用，并以实例说明该方法的应用价值及广阔的应用前景。

一种精密X-Y扫描台的研究

探讨了一种精密的Ｘ－Ｙ扫描工作台，论证其主要技术指标，介绍其结构特点，同时也进行理论分析，最后讨论其应用。

激光原子力显微镜及其对光学表面粗糙度的研究

自一九八五年,Binnig与斯坦福大学的Quate和IBM公司苏黎士实验室的Christoph合作推出了世界上第一台原子力显微镜(简称AFM)以来,AFM的研究及应用迅速扩展。它不仅象扫描隧道显微镜那样能从原子尺度上对导体、半导体表面而且还能对非导体的表面进行成像,拓宽了STM的应用范围。