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金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究
被引量:
8
1
作者
刘传珍
杨柏梁
+6 位作者
袁剑峰
李牧菊
吴渊
寥燕平
张玉
王大海
黄锡珉
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期61-65,共5页
利用金属诱导晶化 ( Metal Induced Crystallization,MIC)的方法研究了 a- Si/ Ni的低温晶化 ,MIC晶化温度能降低到 44 0℃ .采用 XRD、Raman、SEM、XPS等分析手段研究了 Ni- MIC多晶硅薄膜的特性 ,对薄膜结构和组成进行了分析 。
关键词
金属诱导晶化
多晶硅
薄膜
NI-MIC
下载PDF
职称材料
聚合物分散液晶(PDLC)光栅的制备及其光衍射特性
被引量:
2
2
作者
任洪文
黄锡珉
+1 位作者
王宗凯
马凯
《光散射学报》
1997年第2期352-354,共3页
聚合物分散液晶(PDLC)光栅的制备及其光衍射特性任洪文黄锡珉王宗凯马凯(中国科学院长春物理研究所北方液晶研究开发中心长春130021)FabricationofPDLCGratingandItsOpticalDif...
聚合物分散液晶(PDLC)光栅的制备及其光衍射特性任洪文黄锡珉王宗凯马凯(中国科学院长春物理研究所北方液晶研究开发中心长春130021)FabricationofPDLCGratingandItsOpticalDifractiveProperties...
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关键词
聚合物分散液晶
液晶
PDLC
光栅
光衍射
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职称材料
题名
金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究
被引量:
8
1
作者
刘传珍
杨柏梁
袁剑峰
李牧菊
吴渊
寥燕平
张玉
王大海
黄锡珉
机构
中国科学院长春物理研究所北方液晶研究中心
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期61-65,共5页
基金
中国科学院九五计划资助项目 !( KY95 1-A1-5 0 2 )
吉林省九五科技攻关计划资助项目
中国科学院院长基金支持项目&&
文摘
利用金属诱导晶化 ( Metal Induced Crystallization,MIC)的方法研究了 a- Si/ Ni的低温晶化 ,MIC晶化温度能降低到 44 0℃ .采用 XRD、Raman、SEM、XPS等分析手段研究了 Ni- MIC多晶硅薄膜的特性 ,对薄膜结构和组成进行了分析 。
关键词
金属诱导晶化
多晶硅
薄膜
NI-MIC
Keywords
Metal Induced Crystallization ( MIC)
poly- crystalline Si
分类号
TN304.05 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
聚合物分散液晶(PDLC)光栅的制备及其光衍射特性
被引量:
2
2
作者
任洪文
黄锡珉
王宗凯
马凯
机构
中国科学院
长春
物理
研究所
北方
液晶
研究
开发
中心
出处
《光散射学报》
1997年第2期352-354,共3页
文摘
聚合物分散液晶(PDLC)光栅的制备及其光衍射特性任洪文黄锡珉王宗凯马凯(中国科学院长春物理研究所北方液晶研究开发中心长春130021)FabricationofPDLCGratingandItsOpticalDifractiveProperties...
关键词
聚合物分散液晶
液晶
PDLC
光栅
光衍射
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
O753.2 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究
刘传珍
杨柏梁
袁剑峰
李牧菊
吴渊
寥燕平
张玉
王大海
黄锡珉
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
8
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职称材料
2
聚合物分散液晶(PDLC)光栅的制备及其光衍射特性
任洪文
黄锡珉
王宗凯
马凯
《光散射学报》
1997
2
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