“角度基准”中系统误差的修正杨进堂(中国科学院长春光学精密机械研究所

“圆光栅用于角度基准的研究”（角度基准）为国家提供了一台光、机、电、计算机相结合的仪器，它加工装调精细，又采用了许多高新技术，为高精度测角奠定了坚实基础。使用计算机误差修正技术，又进一步提高了仪器的测角精度。本文在分析了分度基准和细分器产生系统误差的根源之后。

需要大力发展机械科学研究

我国机械工业面临着“吃不饱”和“吃不了”的问题。现有八个机械工业部,摊子很大,但能力并没有充分发挥。其原因主要是技术水平上不去,基础不牢固。机械产品的使用价值很差,在国际市场上没有竞争能力。在文化大革命期间,不论在科学院、高等院校和产业部门的机械科学研究机构被破坏得都很严重。打倒“四人帮”以后,虽然做了一些恢复工作,但是进展还是很慢的,完全不能适应目前形势发展的需要。

准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究

准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着十分广泛的应用前景，用该技术制作的聚合物微结构深宽比大、精度高，并且工艺简单。我们分析了准分子激光刻蚀原理，探索了这种技术的工艺方法和技术条件，特别对掩膜的结构和制作工艺进行了较为深入的研究。本文采用简易的实验装置，用自行研制的三种结构掩膜进行了准分子激光刻蚀实验，得到了５０μｍ 深的聚合物材料微机械构件。

微型机械研究的现状及展望

微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。

大视场光电测量系统的精密几何标定和畸变校正的研究

本文研究在大机场精密光电测量系统中最为关键的测量精度问题。深入地讨论了这种大视场光电测量系统的高精度几何标定方法，重点探讨了利用计算机通过解析方法补偿光学系统几何畸变的途径，以期达到在光学系统精度较低的情况下测量系统也可以进行高精度测量的目的。为了达到上述目的，主要研究了以下几个问题：分析了摄影测量的基本原理，提出相机标定和畸变校正问题；建立适合于相机标定和畸变校正的数学模型；研究了对相机进行精密标定的方法和手段；研究了标定数据的分析处理方法；进行计算机仿真实验，分析实验结果。

微机械中超声微电机的研究

作为微机械的动力源，超声微电机具有诸多优良性能，一直是微机械研究的热点技术之一。首先，本文类比了几种微机械意义上的微电机，指出了超声微电机的独特优点，提出了研究超声微电机的重大意义。接着，作者运用粗糙度理论，对广义瑞利波理论进行修正，得出超声微电机较精确的转速数学模型。最后，作者指出超声微电机进一步实用化后的广阔应用前景。

压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究

以压电陶瓷微位移原理为基础，对精密驱动技术在精密定位工件台上的应用作了实验研究。一个是对工件台的微动台进行驱动，另一个是对导轨直线进行误差补偿。设计了一个包括高压精密可调电源、压电微位移驱动器、作为反馈元件的光栅干涉仪。

微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究

微型机械运动参数的测试是微型机械研究工作的基础。本文介绍微型机械运动参数测试仪的工作原理和关键技术，并对仪器的精度进行了分析。

双维精密定位工件台数控系统的研究

Ｘ－Ｙ两维精密定位工件台是以光栅干涉仪为位置检测元件的精密定位系统，其数控系统是以８０３１单片机作为位置控制的闭环系统。本文在对系统深入分析的基础上，设计了数控系统的硬件，用ＴｕｒｂｏＣ、８０８８汇编语言及Ｍｃｓ５１汇编语言编制了相应的软件，采用细分方法提高了系统的分辨率，并对如何提高系统精度做了详细的讨论。结果表明。

基于微机械工艺的平面微电机的研究

为提高微电机的输出力矩,增加微电机散热能力和电流密度,提高电机工作效率,设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转子对称分布于定子两侧。转子采用永磁体进行轴向充磁。定子为平面线圈,是采用硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的。线圈之间则采用了三相星形连接方式,线圈结构为平面型、无槽、集中绕组。把制作好的定子和转子装配后通以三相方波电流进行驱动,通过对其输出力矩和转速的测试证明电机运转良好。

修正精密仪器总误差方法的研究

本文以误差理论为基础，结合时间序列分析法，建立起包括系统误差和随机误差的精密以器总误差数学模型，用此模型对仪器总误差进行实时修正。实践表明，该方法可大大提高仪器的原有准确度。

1994-2006中国学术期刊关于自主创新研究的载文分析

2006年1月10日,胡锦涛总书记在全国科学技术大会上做了题为<坚持走中国特色自主创新道路,为建设创新型国家而努力奋斗>的重要讲话.基于此,深入研究如何提高中国的自主创新能力问题,已经成为关系国家繁荣和民族振兴的重大课题.本文用'自主创新'作为'主题、篇名和关键词:',在精确匹配条件下对清华中国期刊全文数据库进行了查询,共得到了2779条查询结果.列出了1994年以来167份核心期刊上发表的459篇自主创新论文的定量数据,对自主创新研究论文的时间、空间和著者等文献特征进行了归纳和总结,在此基础上提出了笔者的基本观点.

一种精密X-Y扫描台的研究

探讨了一种精密的Ｘ－Ｙ扫描工作台，论证其主要技术指标，介绍其结构特点，同时也进行理论分析，最后讨论其应用。

用于微机械工艺的精密电铸设备

本文介绍用于微型机械ＬＩＧＡ工艺的精密电铸设备。文内给出了精密电铸设备的技术参数、系统结构、软件流程及初步实验效果。此设备填补了国内微机械精密电铸设备的空白。

自重作用下中心支撑主反射镜面形变化研究

利用ＦＥＭ研究了弯月形主反射镜中心支撑条件下自重所引起的面形变化，通过计算所得镜面变形的ＰＶ值和ＲＭＳ值来评价是否超差，利用Ｚｅｒｎｉｋｅ多项式进行数据处理，分解出中心支撑方式下自重引起的像差成份，并相应地提出了提高成像质量的改进措施。最后进行了主反射镜背部形状优化。

植物单叶偏振反射特征研究

简明地阐述了植物单叶偏振反射特征以及影响植物单叶偏振反射的主要因素 。

纵向泵浦固体激光介质热透镜效应的理论研究

在分析了纵向泵浦、周边致冷固体激光棒内加热及冷却机理的基础上 ,将热传导方程简化为一维形式 ,求解出以级数方式表达的棒内温度分布 ,获得了激光棒中热致应力场和应变场。考虑热色散、热致应力双折射和端面变形 ,推导出纵向泵浦固体激光棒有效热焦距的解析表达式。将所获结果运用于常用的激光晶体 Nd∶ YAG,发现当使用 1 0 W半导体激光器泵浦时 ,所产生的有效热焦距在毫米量级。

超声微电机传动机理的研究

提出了一种研究超声微电机传动机理的新方法，把弹性动力学中的瑞利波理论加以延伸应用，揭示了超声传动的本质。在此基础上，建立起对超声微电机设计有指导作用的数学模型。比较了几何分析法和弹性动力学方法，明确了深入研究后者的理论和实践价值，为超声微电机的优化设计提供了理论依据。

Cr^(4+)∶YAG被动调Q4倍频全固态紫外激光器的研究

设计了LD泵浦Cr4 + ∶YAG被动调Q的全固态Nd∶YAG脉冲红外激光器。腔外首先经过焦距为10 0mm的聚焦透镜 ,将 10 6 4nm的红外激光耦合到长为 9mm的KTP 2倍频晶体中 ,得到平均功率为 2 9mW的脉冲绿光。然后将 5 32nm的脉冲绿光经过焦距为 30mm的聚焦透镜 ,耦合到长为 4mm的BBO 4倍频晶体上 ,获得了峰值功率为 7.3W ,平均功率为 1.1mW ,重复频率为 12 .5kHz,脉冲宽度为 12ns的 2 6 6nm紫外激光 ,其绿光 紫外光的转换效率为 3.8%,红外光 紫外光的转换效率为 0 .7%。

无球差非球面短程透镜的研究

用光线追迹迭代法和解析法设计无球差非球面波导短程透镜的母线,用单点金刚石超精加工和凹面波导制备工艺,研制成孔径和有效孔径分别为8和6mm的LiNbO_3导短程透镜.实验表明,器件在有效孔径内无球差;对4mm宽的输入平面波光束,焦点衍射光斑半宽度为4μm;透镜插入损耗为～1dB.